7月9日消息，中電科電子裝備集團有限公司發(fā)布多項半導體設備國產化產品，為國內外芯片制造企業(yè)提供一站式解決方案。

集成電路產業(yè)鏈較長，離子注入位于產業(yè)鏈前端，先進技術節(jié)點的集成電路芯片通常需要70多道注入工序。為了讓硅片具有特定的導電性能，就要向這種材料注入各種元素?！斑@就像做蛋糕，往里面添加芝麻、慕斯等食材，可以讓蛋糕更具風味。”中電科電子裝備集團有限公司戰(zhàn)略計劃部主任李進描述離子注入機的作用。

而此次中國電子科技集團突破高性能離子源、高速晶圓傳輸等核心技術，自主研制出中束流、大束流、高能等離子注入機，工藝段覆蓋至28納米，形成了全譜系離子注入的一站式解決方案，讓注入離子的效率大大提高。因此，離子注入機具有很高的科技含量。

據介紹，離子注入機對潔凈度要求很高。在芯片制造過程中，通常有70多道離子注入工序，如果每道工序都有雜質顆粒污染，產品質量就難以達標。因此，這種裝備的注入能量要控制得很精準，還要在很多工藝技術上精益求精。

除此之外，在國產化設備研發(fā)方面，中國電子科技集團還發(fā)布了國產化化學機械拋光設備，作為集成電路制造核心裝備之一，化學機械拋光設備是銅互聯工藝不可或缺的設備。其中，200mm拋光設備已經進入到中芯國際、華虹宏力、臺積電、聯電等國內大線，被中芯國際譽為“唯一置換率100%的國產設備供應商”。并且，中國電子科技集團自主研發(fā)的濕法設備和先進封裝設備也取得了多項突破。多年來，利用雄厚的科研技術和人才優(yōu)勢，中國電子科技集團攻克了數百項集成電路制造裝備關鍵技術，支撐了半導體和新興電子元器件產業(yè)的快速發(fā)展，為國內外用戶提供了1萬多臺（套）電子制造裝備。

作為北京經開區(qū)“十四五”期間聚焦國家戰(zhàn)略的代表，為增強產業(yè)鏈創(chuàng)新鏈自主可控能力，中國電子科技集團持續(xù)圍繞北京市“三城一區(qū)”的發(fā)展布局以及中國電科在北京的“南強裝備”業(yè)務布局，踐行國家使命，擔當央企責任，聚焦北京亦莊，圍繞光刻機、離子注入機、CMP、濕法設備、先進封裝等集成電路核心裝備業(yè)務，形成“一總部一院一中心一基地”的布局。