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Counterpoint:高數(shù)值孔徑 EUV 系統(tǒng)將成 ASML 增長新突破口

2022-02-10 來源:中電網(wǎng)
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關(guān)鍵詞: 孔徑 EUV ASML

Counterpoint 發(fā)布的最新報告顯示,由于 5G、物聯(lián)網(wǎng)、云計算、高性能計算、汽車芯片和其他領(lǐng)域的需求增加,預(yù)計到 2030 年半導(dǎo)體行業(yè)收入將達到 1 萬億美元左右。隨著技術(shù)節(jié)點縮小,DUV(深紫外)和 EUV(極紫外)光刻系統(tǒng)被廣泛用于硅晶圓制作。


報告指出,ASML 是先進光刻系統(tǒng)和設(shè)備的領(lǐng)導(dǎo)者。憑借對先進 EUV 技術(shù)和基于高價值的服務(wù)模式(包括生產(chǎn)力和性能升級)大量投資,ASML 有望超越其長期發(fā)展預(yù)測。同時,隨著 EUV 技術(shù)的采用,芯片制造商的微縮能力正變得更強,將能跟上摩爾定律步伐。


ASML 在 2021 年實現(xiàn)創(chuàng)紀錄的收入和利潤率


ASML 已經(jīng)報告了 2021 年的強勁營收數(shù)據(jù),預(yù)計未來將繼續(xù)獲得高溢價估值,因為其:


·       在 EUV 技術(shù)方面處于壟斷地位。


·       在老式光刻系統(tǒng)的整個產(chǎn)品線中占據(jù)主導(dǎo)地位。


基于良好的全球產(chǎn)業(yè)趨勢,ASML 的前景也令人印象深刻:


·       2021 年,全球半導(dǎo)體銷售額達到創(chuàng)紀錄的 5500 億美元。


·       主要代工廠的資本支出超過 1000 億美元。


·       預(yù)計光刻機的增長速度將快于整個晶圓廠設(shè)備的增長速度。


·       需求正在超過產(chǎn)能。


·       增加晶圓加工步驟以生產(chǎn)多樣化和復(fù)雜的應(yīng)用。


·       到 2025 年部署用于 3nm 以下工藝的高數(shù)值孔徑(High-NA)EUV 系統(tǒng)。


報告稱,近年來,EUV 光刻系統(tǒng)的銷售額顯著增長,但 2021 年其對總銷售收入的貢獻還不到一半。


▲ ASML 光刻部門的年收入份額 圖源:Counterpoint


ASML 投資 EUV 以克服先進節(jié)點的挑戰(zhàn)


ASML 已經(jīng)對 EUV 路線圖的下一個重大技術(shù)變革,即高數(shù)值孔徑系統(tǒng)進行了大量投資。這些光刻系統(tǒng)目前正在研發(fā)中,可以生產(chǎn) 3nm 以下的芯片。目前,各個光罩、設(shè)備和光刻膠供應(yīng)商之間的密切協(xié)作,將使其在 2023 年快速交付。而在本十年的后半期,高數(shù)值孔徑系統(tǒng)納入生產(chǎn)將進一步推動 ASML 收入增長。


然而,近期在 DRAM 的微縮中采用 EUV 技術(shù)也有不少挑戰(zhàn)。


·       活區(qū)微縮的關(guān)鍵尺寸缺陷。


·       孔徑敏感度和狹窄的進程窗口。


·       薄的光刻膠。


通過解決這些近期的挑戰(zhàn),ASML 將能夠?qū)崿F(xiàn)長期的增長預(yù)測。同時,晶圓廠不斷努力提高晶圓產(chǎn)量、減少缺陷并提高先進技術(shù)節(jié)點的產(chǎn)量,這將有助于更快地采用 EUV 技術(shù)。


快速出貨策略的實施可能會超出 ASML 的臨時預(yù)算分配,并可能在短期內(nèi)影響其毛利率和營業(yè)收入。但從長遠來看,ASML 將能夠?qū)崿F(xiàn)其業(yè)績指導(dǎo)目標。


2021 年 ASML 的主要業(yè)績指標


營收:收入同比增長 35%,毛利率穩(wěn)健。


·       凈銷售額增長 35%,達到 186 億歐元。


·       凈利潤同比增長 64%,達到 59 億歐元。


·       系統(tǒng)凈預(yù)訂訂單為 262 億歐元。


·       每股收益同比增長 69% 至 14.36 歐元。


·       毛利率達到創(chuàng)紀錄的 52.7%。


·       系統(tǒng)凈銷售額為 136 億歐元,而 2020 年為 103 億歐元。


細分:系統(tǒng)凈銷售額 —— 中國臺灣地區(qū)、邏輯芯片仍是最大的區(qū)域市場、細分市場。


·       按地區(qū)劃分:中國臺灣地區(qū) 44%,韓國 35%,中國大陸 16%,美國 5%,日本 1%。


·       按用途劃分:邏輯芯片 70%,內(nèi)存 30%。


·       光刻單元包括:EUV 42、DUV-ArFi 81、ArFdry 22、KrF 131、i-line 33。


細分市場:EUV 設(shè)備市場份額快速增長


▲ ASML 各細分市場的光刻設(shè)備年度銷售額 圖源:Counterpoint


1.深紫外(DUV)


·       由于產(chǎn)能持續(xù)提升,DUV 系統(tǒng)銷售額增長 25% 至 69 億歐元。


·       DUV 訂單為 46 億歐元。


·       2021 年,DUV 裝機量 / 系統(tǒng)基數(shù) 25%:75%。


·       到 2025 年,DUV 裝機量 / 系統(tǒng)基數(shù)為 30%:70%。


2.極紫外(EUV)


·       EUV 系統(tǒng)銷售額增長 41% 至 63 億歐元,支持了邏輯芯片和內(nèi)存的大批量制造。


·       EUV 訂單為 26 億歐元。


·       EUV 0.33NA 的擴張和 EUV 0.55NA 的引入有望將 EUV 價值延續(xù)到下一個十年。


·       研制高數(shù)值孔徑項目進展順利,收到一份 EUV 0.55 數(shù)值孔徑 (EXE:5000) 訂單,將于 2023 年第三季度交付。


安裝基礎(chǔ)管理(服務(wù)和現(xiàn)場選項銷售)


·       安裝基礎(chǔ)業(yè)務(wù)增長約 35% 至 50 億歐元,約占總銷售額的 27%。


·       第四季度安裝基礎(chǔ)管理的銷售增加有助于提高 2021 年的毛利率。


2021 年第四季度指標: 有史以來最高的毛利率


·       凈銷售額為 50 億歐元,毛利率為 54.2%,凈收入為 18 億歐元。


·       凈收入占凈銷售額的比例為 35.6%。


·       第四季度的訂單量高達 71 億歐元。


·       系統(tǒng)凈銷售額為 35 億歐元。


細分:系統(tǒng)凈銷售額


* 按地區(qū)劃分:中國臺灣地區(qū) 51%、韓國 27%、中國大陸 22%。


* 按用途劃分:邏輯芯片 73%,內(nèi)存 27%。


* 光刻單元包括:EUV 11、DUV-ArFi 20、ArFdry 5、KrF 35、i-line 11。


2022 年第一季度展望:2022 年將交付 60 套 EUV 系統(tǒng)


·       凈銷售額在 33 億歐元至 35 億歐元之間,包括約 12 億歐元的安裝基礎(chǔ)管理銷售額。


·       由于出貨速度快,約 20 億歐元收入向后續(xù)季度轉(zhuǎn)移,導(dǎo)致凈銷售額下降。


·       毛利率 49%。


·       2022 年交付 60 套 EUV 系統(tǒng)。


長期展望(2021 年至 2030 年):高數(shù)值孔徑(High-NA) EUV 系統(tǒng)將推動收入增長


·       光刻技術(shù)強度隨著時間的推移而增加。同時,光刻機的增長快于總體 WFE(晶圓制造設(shè)備)。


·       五個高數(shù)值孔徑系統(tǒng)的訂單。


·       第一個高數(shù)值孔徑系統(tǒng)設(shè)備預(yù)計將于 2023 年第四季度安裝。


·       2025 年收入將在 240 億至 300 億歐元之間,毛利率在 54% 至 56% 之間。


·       由于需求強勁,2022-2025 年期間凈銷售額將同比增長約 20%。


·       展望未來,20% 的同比增長指導(dǎo)將通過高數(shù)值孔徑 EUV 設(shè)備銷售來實現(xiàn)。


·       采用基于高價值服務(wù)模式(包括生產(chǎn)力和性能升級)的安裝基礎(chǔ)管理,可在 2020-2030 年期間實現(xiàn) 11% 的年收入增長率,到 2025 年達到 60 至 70 億歐元。


·       2025 年,高數(shù)值孔徑系統(tǒng)將被芯片制造商應(yīng)用于 DRAM 的大規(guī)模生產(chǎn)。


·       預(yù)計到 2025 年,DRAM 將占 EUV 總需求的 30% 以上。


財報電話會議討論:ASML 的快速出貨能力成為焦點


如何應(yīng)對 2022 年以后的強勁需求?


·       專注于公司和供應(yīng)鏈的能力建設(shè)。


·       大幅提高 DUV、EUV 以及計量和測量系統(tǒng)的產(chǎn)量。



對 EUV 和 DUV 的期望?


·       預(yù)計出貨量約為 55 套 EUV 系統(tǒng),不久將有約 6 套系統(tǒng)。預(yù)計 EUV 的收入增長約 25%。


·       2020-2025 年 EUV 產(chǎn)能增長:設(shè)備數(shù)量 > 1.5 倍;晶圓產(chǎn)能 > 2 倍。


·       2022 年 DUV 業(yè)務(wù)增長 20%,包括所有行業(yè)的內(nèi)存、邏輯芯片訂單量。


·       2020-2025 年 DUV 產(chǎn)能增長:設(shè)備數(shù)量約 1.5 倍;晶圓產(chǎn)能約 2 倍。


這一切如何轉(zhuǎn)化到其今年的不同細分市場?


·       在對更成熟的產(chǎn)品和先進工藝產(chǎn)品的需求增加趨勢推動下,邏輯芯片將增長約 20%。


·       存儲器的增長將約為 25%。


關(guān)于高數(shù)值孔徑(High-NA)EUV 的最新情況


·       高數(shù)值孔徑是下一個重大技術(shù)趨勢,第一批高數(shù)值孔徑工具正在工廠的生產(chǎn)線上執(zhí)行相關(guān)操作。


·       收到第五個 EXE:5000 (High-NA) 訂單,將于 2024 年之前發(fā)貨。


·       獲得 EXE:5200 的第一筆訂單。這是用于 EUV 的下一代大批量制造工具,將于 2024 年推出。


2021 年的資本分配


通過以下方式使用自由現(xiàn)金流來支持業(yè)務(wù):


·       大力投資于自有產(chǎn)能和供應(yīng)鏈的產(chǎn)能。


·       鑒于高增長態(tài)勢,大力投資于研發(fā)。


·       增加股息和股票回購。


未來的挑戰(zhàn)


·       由于以下原因,需求大大超過了產(chǎn)能:長期增長趨勢;對更多半導(dǎo)體需求的驅(qū)動;新冠疫情造成的短缺和供需不平衡。


·       在最大產(chǎn)能下運行時,由于沒有緩沖區(qū),監(jiān)測干擾因素是一個挑戰(zhàn)。


·       勞動力:員工需要接受培訓(xùn)并適應(yīng)學(xué)習(xí)曲線,但這需要時間。


應(yīng)對這些挑戰(zhàn)


·       通過快速出貨獲得更多晶圓產(chǎn)出。


·       通過不做數(shù)周的驗收測試來縮短周期。


·       改善硬件和軟件安裝基礎(chǔ),以獲得更多晶圓產(chǎn)出。


·       迅速識別任何干擾并采取糾正措施。


·       供應(yīng)商基地和公司之間的密切協(xié)作。


關(guān)鍵要點:


·       得益于創(chuàng)紀錄的 EUV 系統(tǒng)銷售額和已安裝基礎(chǔ)業(yè)務(wù)的增長,ASML 的收入和毛利率創(chuàng)下歷史新高。


·       ASML 將在 2022 年出貨 60 臺光刻機。其對快速出貨的關(guān)注將增加晶圓產(chǎn)量。


·       鑒于臺積電承諾在 2021-2023 年間投入 1000 億美元加大產(chǎn)能,中國臺灣地區(qū)仍然是主要市場。


·       努力減少缺陷、提高產(chǎn)量并在大規(guī)模生產(chǎn)中部署高數(shù)值孔徑 EUV 系統(tǒng),將使 ASML 能夠?qū)崿F(xiàn)其長期增長預(yù)測。



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