近日炬光科技在投資者互動平臺表示，公司為荷蘭ASML核心供應商A公司提供光刻機用光場勻化器和半導體晶圓退火核心元器件。公司多年來一直為半導體光刻應用領(lǐng)域提供光刻機曝光系統(tǒng)中的核心激光光學元器件光場勻化器，供應給世界頂級光學企業(yè)A公司，最終應用于全球高端光刻機生產(chǎn)商的核心設(shè)備。

根據(jù)官網(wǎng)資料顯示，炬光科技成立于2007年，該公司主要從事激光行業(yè)上游的高功率半導體激光元器件、激光光學元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。擁有經(jīng)驗豐富的技術(shù)研發(fā)團隊，現(xiàn)已形成共晶鍵合技術(shù)、熱管理技術(shù)、熱應力控制技術(shù)、界面材料與表面工程、測試分析診斷技術(shù)、線光斑整形技術(shù)、光束轉(zhuǎn)換技術(shù)、光場勻化技術(shù)（光刻機用）和晶圓級同步結(jié)構(gòu)化激光光學制造技術(shù)九大類核心技術(shù)，產(chǎn)品逐步被應用于先進制造、醫(yī)療健康、科學研究、汽車應用、消費電子五大領(lǐng)域。炬光科技擁有國家地方聯(lián)合工程研究中心、博士后科研工作站，獲得國家技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)等科研榮譽。2020年，炬光科技成功進入臺積電供應鏈。

據(jù)了解，炬光科技的光場勻化器應用于國內(nèi)主要光刻機研發(fā)項目和樣機中，并供應給世界頂級光學企業(yè)A公司，最終應用于ASML的光刻機中。而目前德國蔡司是ASML光刻機最重要的光學零部件供應商，因此，德國蔡司很有可能就是炬光科技前面提到的A公司。根據(jù)招股書顯示，炬光科技的光場勻化器單價在20萬元左右，2021年上半年用于光刻和其他應用的毛利率分別為67.3%和76.85%，是所有產(chǎn)品中毛利率最高的。

而炬光科技光場勻化器技術(shù)似乎主要源于2017年5月對于德國LIMO公司的收購。資料顯示，LIMO成立于1992年，位于德國多特蒙德，為各種類型的激光器提供折射微光學和光學整形系統(tǒng)。2018年UV-L750線光斑系統(tǒng)獲得了國際光學工程學會（SPIE）頒發(fā)的全球光電行業(yè)最高榮譽之一Prism Awards棱鏡獎。

截至2021年6月30日，公司在中國境內(nèi)依法取得專利證書的專利共計295項，其中發(fā)明專利117項、實用新型專利150項、外觀設(shè)計專利28項，在中國境外依法取得專利證書的專利共計110項。公司科技成果分別獲得陜西省科學技術(shù)獎一等獎、西安市科學技術(shù)獎一等獎，2019年被國家知識產(chǎn)權(quán)局授予“國家知識產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)”。