今年上海進(jìn)博會(huì)上，光刻機(jī)霸主ASML再度亮相。ASML全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波就光刻機(jī)再次表態(tài)，他表示向我國(guó)出口集成電路光刻機(jī)持開放態(tài)度，在法律法規(guī)框架下全力支持。不過，EUV光刻機(jī)依然無法出貨給大陸客戶，但除此之外其他產(chǎn)品都可以出貨。也就是說，DUV光刻機(jī)不受其他限制。

此前，ASML曾連續(xù)四次公開表態(tài)。第一次表示會(huì)加快布局我國(guó)市場(chǎng)，提供更加完善的售后服務(wù)。第二次直接表示向國(guó)內(nèi)廠商銷售DUV光刻機(jī)，不需要許可。第三次直接提高了對(duì)我國(guó)市場(chǎng)的營(yíng)收預(yù)期。在去年的進(jìn)博會(huì)上，ASML第四次表示向我國(guó)出售光刻機(jī)持開放態(tài)度。

從ASML的這次表態(tài)來看，EUV光刻機(jī)依然遲遲難見希望。眾所周知，中芯國(guó)際在三年前曾花費(fèi)1．5億美元向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，原本應(yīng)該于2019年初就交貨，但由于美方阻撓，ASML拿不到許可證，至少未交付。

在今年3月初，中芯國(guó)際宣布和ASML簽訂了延長(zhǎng)采購(gòu)協(xié)議至今年年底，協(xié)議總價(jià)為12億美元。按照產(chǎn)品金額來算，至少可以購(gòu)買幾十臺(tái)DUV光刻機(jī)。

對(duì)于中芯國(guó)際而言，公司今年分別在北京、上海、深圳增資加碼擴(kuò)大產(chǎn)能，DUV光刻機(jī)無疑成為了最為重要的設(shè)備之一。但新的問題出現(xiàn)了，據(jù)臺(tái)媒報(bào)道，目前中芯國(guó)際跟ASML續(xù)簽的這個(gè)訂單的DUV光刻機(jī)還沒有到貨。并且隨著采購(gòu)協(xié)議的最后期限臨近，恐怕這筆訂單將要跳票，從而危及中芯國(guó)際未來的產(chǎn)能計(jì)劃。

根據(jù)沈波的說法，DUV光刻機(jī)應(yīng)該是不受限制的，而遲遲無法供貨的原因是，由于全球缺芯導(dǎo)致的光刻機(jī)需求增大，雖然ASML已經(jīng)在盡力擴(kuò)大產(chǎn)能，但依然不能滿足用戶需求。并且由于涉及的幾千家配套供應(yīng)商只能提供85％的零部件，因此有的產(chǎn)品交付期甚至要翻倍。

這意味著光刻機(jī)的訂單太多，ASML雖能擴(kuò)大產(chǎn)能，但供應(yīng)商的配套部件跟不上，導(dǎo)致光刻機(jī)交貨期也得延長(zhǎng)。

另一方面，此前中芯國(guó)際宣布與ASML達(dá)成批量設(shè)備采購(gòu)延長(zhǎng)協(xié)議之后，美國(guó)共和黨眾議員麥考爾和魯比奧還曾聯(lián)合致信美國(guó)商務(wù)部長(zhǎng)雷蒙多稱，基于中芯國(guó)際協(xié)助中國(guó)大陸追求“取代美國(guó)在全球的領(lǐng)先地位”方面發(fā)揮的作用，為保護(hù)美國(guó)的國(guó)家安全利益，要求拜登政府勸說荷蘭政府阻止ASML出售DUV光刻機(jī)賣給中芯國(guó)際，并且還須與盟國(guó)達(dá)成協(xié)議，統(tǒng)一出口限制和許可權(quán)，限制類似DUV和EUV光刻等技術(shù)設(shè)備的出售。顯然，訂單積壓也許是中芯國(guó)際訂購(gòu)的DUV未能如期交貨的原因之一，但背后又是否還存在其他的阻礙因素也不好說。