眾所周知,在芯片的生產(chǎn)過(guò)程中,需要幾十道工序,幾百種設(shè)備,缺一不可。

而這些設(shè)備基本上都是與芯片工藝相關(guān)的,比如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積和過(guò)程檢測(cè)等等都是對(duì)應(yīng)著XXnm工藝的,不是說(shuō)有了設(shè)備,就可以生產(chǎn)任意工藝制程的芯片。

目前國(guó)內(nèi)很多廠商的設(shè)備,能夠支撐的工藝大多在28nm及以上工藝,也有些達(dá)到了14nm,再往下就極少極少了。

國(guó)內(nèi)第一家進(jìn)入5nm產(chǎn)線的設(shè)備廠商應(yīng)該是中微半導(dǎo)體,他們家的刻蝕機(jī)在2019年的時(shí)候就實(shí)現(xiàn)了5nm的精度,并且被臺(tái)積電使用,用在5nm芯片的制造之中。

事實(shí)上,在中微之后,也有第2家國(guó)產(chǎn)廠商,早成功打入5nm生產(chǎn)線了,并且在干法去膠設(shè)備領(lǐng)域,更是全球第一,這家廠商就是北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司(簡(jiǎn)稱“屹唐股份”)。

屹唐股份的主營(yíng)業(yè)務(wù)主要有三塊,分別是干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備,這些設(shè)備都是用于芯片制造的。

先說(shuō)說(shuō)干法去膠設(shè)備,這個(gè)過(guò)程是在光刻之后,去除晶圓上光刻膠的設(shè)備,目前屹唐股份干法去膠設(shè)備可以用于90nm到5nm芯片,并且被三星、臺(tái)積電、中芯國(guó)際、美光等廠商使用,更重要的是,干法去膠設(shè)備,屹唐股份的市值份額全球第一。

再說(shuō)說(shuō)快速熱處理設(shè)備,這種設(shè)備是用于增加光刻膠和基片間的黏附能力的設(shè)備。屹唐股份的快速熱處理設(shè)備也能夠用于90nm到5nm的芯片,主要客戶同樣有臺(tái)積電、三星、SK海力士,中芯國(guó)際這些巨頭,從市場(chǎng)份額來(lái)看,排名全球第二。

而他的干法刻蝕設(shè)備主要可用于65nm到5nm的芯片,主要客戶是三星、長(zhǎng)江存儲(chǔ),從市場(chǎng)份額來(lái)看,排名全球第10。

為何屹唐股份能夠這么強(qiáng),這不得不說(shuō)一下屹唐的核心子公司MTI(Mattson Technology Inc．)了,它是一家美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商,成立于1988年,主營(yíng)就是半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn),后來(lái)在2016年被屹唐股份私有化收購(gòu)了,成為了屹唐的子公司。

而屹唐股份收購(gòu)了MTI公司后,也把他們的核心高管留了下來(lái),也吃透了他們的技術(shù)。而MTI在干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備方面都很強(qiáng),于是順理成章的,屹唐股份也就擁有了這三種設(shè)備的全套技術(shù)。

后來(lái)屹唐股份在2018年建好了中國(guó)研發(fā)制造基地后,也將這3種設(shè)備實(shí)現(xiàn)了本地化的生產(chǎn)和銷售,也就實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)設(shè)備在這三個(gè)領(lǐng)域的大步前進(jìn)。