中商情報網(wǎng)訊：半導(dǎo)體專用設(shè)備泛指用于生產(chǎn)各類半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備，屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的支撐環(huán)節(jié)。在整個芯片制造和封測過程中，會經(jīng)過上千道加工工序，細分又可以劃出百種不同的機臺，占比較大市場份額的主要有：光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機、測試機、分選機、探針臺等。

一、產(chǎn)業(yè)鏈

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈中，上游為信息交互系統(tǒng)及設(shè)備本體構(gòu)成；中游為半導(dǎo)體設(shè)備，光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備為三大核心設(shè)備；下游為半導(dǎo)體產(chǎn)品，主要分為四大類，集成電路、分立器件、光電子器件和傳感器。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院

二、上游分析

1.信息交互系統(tǒng)

半導(dǎo)體設(shè)備上游中包括精密運動控制系統(tǒng)、伺服驅(qū)動系統(tǒng)和測試分選設(shè)備本體；精密運動控制系統(tǒng)作為核心部件，向伺服驅(qū)動系統(tǒng)分配運動指令，從而帶動測試分選設(shè)備本體運轉(zhuǎn)，對芯片進行分選。具體如下圖所示：

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2.伺服系統(tǒng)

伺服系統(tǒng)又稱隨動系統(tǒng)，是用來精確地跟隨或復(fù)現(xiàn)某個過程的反饋控制系統(tǒng)。伺服系統(tǒng)使物體的位置、方位、狀態(tài)等輸出被控量能夠跟隨輸入目標的任意變化的自動控制系統(tǒng)。它的主要任務(wù)是按控制命令的要求、對功率進行放大、變換與調(diào)控等處理，使驅(qū)動裝置輸出的力矩、速度和位置控制非常靈活方便。中商產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)測，到2021年，中國伺服系統(tǒng)市場規(guī)模將達到224億元。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

下圖為我國伺服系統(tǒng)主要企業(yè)匯總一覽表：

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

三、中游分析

1.市場規(guī)模

SEMI在其全球半導(dǎo)體設(shè)備市場統(tǒng)計報告中指出，全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售額從2019年的598億美元猛增19％，達到2020年712億美元的歷史新高。中國首次成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場，銷售額增長39％，達到187.2億美元。2021年第一季度全球半導(dǎo)體制造設(shè)備出貨金額較去年同期大幅增長51%，比上一季度也有21%的增長，達到236億美元，中國半導(dǎo)體制造設(shè)備出貨金額達59.6億美元。

數(shù)據(jù)來源：SEMI、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2.市場占比

從細分產(chǎn)品來看，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備為半導(dǎo)體設(shè)備主要核心設(shè)備，分別占比24%、20%、20%。其次為測試設(shè)備和封裝設(shè)備，分別占比9%、6%。

數(shù)據(jù)來源：SEMI、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

3.國產(chǎn)化情況

近年來，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場占比逐步提高。數(shù)據(jù)顯示，截至2020年第三季度，我國半導(dǎo)體設(shè)備在全球市場占比達26.5%。

數(shù)據(jù)來源：SEMI、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

下圖為半導(dǎo)體設(shè)備細分產(chǎn)品國產(chǎn)化率情況及主要廠商匯總一覽表：

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

4.重點企業(yè)分析

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

四、下游分析

1.半導(dǎo)體

半導(dǎo)體專用設(shè)備市場與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣狀況緊密相關(guān)，其中芯片制造設(shè)備是半導(dǎo)體專用設(shè)備行業(yè)需求最大的領(lǐng)域，下游新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的最大驅(qū)動力。數(shù)據(jù)顯示，2020年全球半導(dǎo)體銷售額達4355.6億美元，同比增長5.98%，中國半導(dǎo)體銷售額達1508.0億美元。

數(shù)據(jù)來源：WIND、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2.晶圓制造

數(shù)據(jù)顯示，2016年中國圓晶制造行業(yè)市場規(guī)模突破1000億元，到2019年，中國圓晶制造行業(yè)市場規(guī)模超過2000億元，達到2149.1億元。預(yù)計2021年，我國圓晶制造行業(yè)市場規(guī)模或達到2941.4億元。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

3.集成電路

集成電路在消費電子、高端制造、網(wǎng)絡(luò)通訊、家用電器、物聯(lián)網(wǎng)等諸多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，已成為衡量一個國家產(chǎn)業(yè)競爭力和綜合國力的重要標志之一。數(shù)據(jù)顯示，2020年我國集成電路產(chǎn)量達2612.6億塊，2021年1-5月我國集成電路產(chǎn)量達1399.2億塊，同比增長48.3%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)庫

4.光電子器件

光電子器件是利用電-光子轉(zhuǎn)換效應(yīng)制成的各種功能器件。數(shù)據(jù)顯示，2020年我國光電子器件產(chǎn)量達9722.9億只。2021年1-5月我國光電子器件產(chǎn)量達4755.7億只，同比增長43.8%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)庫

5.傳感器

傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。數(shù)據(jù)顯示，2019年中國傳感器市場規(guī)模2189億元，同比增長12.7%。中商產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)測，2021年中國傳感器市場規(guī)?？蛇_2953億元。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理