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ASML新EUV光刻機(jī)28億?臺積電:我不買,不浪費錢,2nm一樣造

2024-06-04 來源:科技專家
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關(guān)鍵詞: ASML 臺積電 晶圓

ASML是全球光刻機(jī)壟斷者,EUV光刻機(jī)占100%的市場,全球只有ASML能生產(chǎn)。浸潤式DUV光刻機(jī),ASML占了90%以上的市場。


而整個光刻機(jī)領(lǐng)域,ASML一家占了80%以上的市場,靠著光刻機(jī),ASML制霸全球,可以說所有的晶圓廠,都被ASML牽著走。


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做生意當(dāng)然不能是一錘子買賣啊,必須持續(xù)不斷的賺錢才行,所以為了賺錢, ASML的光刻機(jī),也是一代又一代的更新,每一代相比上一代,在精度、速度等上面,都會有所改進(jìn),但改進(jìn)卻又不是特別多。


這樣晶圓廠,為了獲得更高的精度,更快的速度,更高的效率,不得不一代又一代采購ASML的新光刻機(jī),淘汰掉舊光刻機(jī)。


其實在EUV光刻機(jī)之前,這種更新?lián)Q代,晶圓廠們還是能夠接受的,畢竟光刻機(jī)也不是特別貴,但到了EUV光刻機(jī)之后,就麻煩大了。


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因為一臺EUV光刻機(jī),就是1億多美元,10臺就是10多億美元,換成人民幣,就是上百億元,如果還經(jīng)常要更新?lián)Q代,這樣的成本,沒有幾家廠商吃的消啊。


所以一直以來,就有企業(yè)想要用舊一點光刻機(jī),來實現(xiàn)更高精度芯片的制造。


比如臺積電,第一代7nm工藝時,用的是浸潤式DUV光刻機(jī),不采用EUV光刻機(jī)。


后來更是用舊EUV光刻機(jī),生產(chǎn)更先進(jìn)一點的3nm芯片技術(shù),而不是直接就從ASML那采購更高級的EUV光刻機(jī)。


而近日,臺積電更是表示,其A16(也可以認(rèn)為是1.6nm)工藝,將在2026年量產(chǎn),而所謂的A16工藝,實際上是2nm工藝的升級版,臺積電2025年實現(xiàn)2nm,2026年實現(xiàn)A16。


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同時臺積電還著重提出,A16制程工藝并不需要下一代High-NA EUV光刻系統(tǒng)的參與。


為何會著重提出這一點,原因在于目前業(yè)界有一種聲音,那就是進(jìn)入2nm工藝,必須用到ASML最新的光刻機(jī),也就是High-NA EUV光刻機(jī)。


這種High-NA EUV光刻機(jī)對應(yīng)之前的EUV光刻機(jī),最大的區(qū)別的就是數(shù)值孔徑的變化,之前的EUV光刻機(jī)數(shù)值孔徑是0.33,而High-NA EUV提供了0.55數(shù)值孔徑。


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ASML稱,之前的標(biāo)準(zhǔn)EUV光刻機(jī)可以打印13.5nm的線寬,而High-NA EUV光刻機(jī)可打印8nm線寬,所以生產(chǎn)2nm芯片時,效果更好。


另外ASML還稱,新EUV光刻機(jī)處理晶圓的速度提升了100%至150%,從原來的每小時200片晶圓,提升到每小時400至500片晶圓。


不過,這樣的光刻機(jī)好是好,價格可不便宜,設(shè)備的價格約在3.85億美元(約28億元人民幣)起步。


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臺積電目前擁有標(biāo)準(zhǔn)的0.33數(shù)值孔徑的光刻機(jī)上百臺,如果全部換成這種新的,成本高達(dá)400億美元,臺積電當(dāng)然不想換,成本完全背不起啊。


所以,臺積電的計劃是,不管你ASML怎么升級,反正我不變,我用舊的EUV光刻機(jī),也要生產(chǎn)出2nm,甚至升級版A16(1.6nm)的芯片出來。


這對于ASML而言,就有點麻煩了,一旦新EUV光刻機(jī),得不到臺積電這樣的巨頭支持,那賣給誰呢?因為一旦臺積電這么干,三星、intel只怕也會學(xué),那ASML一直以來,靠著不斷升級來維持的營收增長,怎么實現(xiàn)了?



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