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繞開日本技術(shù)封鎖,國產(chǎn)新型光刻膠技術(shù)有突破,意義重大

2024-04-09 來源:科技專家
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關(guān)鍵詞: 半導體設(shè)備 光刻膠 芯片

眾所周知,在芯片制造領(lǐng)域,我們落后于全球頂尖水平,同時上游的材料、設(shè)備也高度依賴進口,處境很難。


半導體設(shè)備領(lǐng)域,美國、日本、歐洲占全球80%以上的份額。半導體材料領(lǐng)域,日本、美國占90%以上的份額。


也正因為如此,所以國產(chǎn)供應(yīng)鏈需要不斷的努力突破,實現(xiàn)國產(chǎn)替代,否則就會一直卡脖子。


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但國產(chǎn)替代,不僅僅是市場問題,還有著技術(shù)問題,專利問題等等,畢竟前面的企業(yè),已經(jīng)通過各種專利、技術(shù)等,將整個生態(tài)體系控制在自己手中。


在這樣的情況之下, 國產(chǎn)要么在原有的技術(shù)上突破,要么換道超車,繞開這些技術(shù)封鎖。


而近日,有消息傳出,具有自主知識產(chǎn)權(quán)的光刻膠體系有了突破,繞開了日本的技術(shù)封鎖。


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九峰山實驗室、華中科技大學組成聯(lián)合研究團隊,突破了“雙非離子型光酸協(xié)同增強響應(yīng)的化學放大光刻膠”技術(shù),這種技術(shù)和現(xiàn)有的光刻膠技術(shù)有所不同,通過巧妙的化學結(jié)構(gòu)設(shè)計,性能優(yōu)于大多數(shù)商用光刻膠。


目前該技術(shù)體系已經(jīng)在產(chǎn)線上完成了初步工藝驗證,并同步完成了各項技術(shù)指標的檢測優(yōu)化,實現(xiàn)了從技術(shù)開發(fā)到成果轉(zhuǎn)化的全鏈條打通,也就是說離量產(chǎn)已經(jīng)不遠了。


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要知道光刻膠目前對應(yīng)芯片工藝,分為g線、i線、KrF、ArF、EUV這么5種。而國產(chǎn)光刻機,還處于ArF階段,最多只達到45nm階段。


像ArFi這種浸潤式光刻膠,EUV光刻膠,我們完全無法生產(chǎn),只能從日本進口,整個光刻膠市場,總體國產(chǎn)率還不到10%。


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所以這個突破實在是太有意義了,以往我們主要按照日本的路在足,就是不斷的進行配方調(diào)試,將成百上千的樹脂、光酸和添加劑進行排列組合,不斷的嘗試、驗證,調(diào)整。


但新的體系,雖然也要如此進行排列組合,要不斷的進行調(diào)整,但這種技術(shù)能夠大大的減少這個時間,加快進度,并能夠獲得更好的效果,同時據(jù)稱這種技術(shù)也能同時為 EUV 光刻膠的著力開發(fā)做技術(shù)儲備。



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