眾所周知，目前全球僅ASML一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)。

目前ASML對(duì)外出貨的光刻機(jī)，其實(shí)均是數(shù)值孔徑NA=0.33的光刻機(jī)，這種稱之為低數(shù)值孔徑的光刻機(jī)，一般用于3nm-7nm芯片的光刻。

而當(dāng)芯片進(jìn)入到3nm之下，也就是2nm、1.4nm、1nm芯片時(shí)，需要用到高數(shù)值孔徑的光刻機(jī)，也就是NA=0.55的光刻機(jī)，型號(hào)應(yīng)該是EXE：5200。

前段時(shí)間ASML終于將全球首臺(tái)高數(shù)值孔徑的光刻機(jī)EXE：5200，交付給了英特爾。

這臺(tái)光刻機(jī)有多恐怖？首先是售價(jià)高達(dá)3.5億歐元（約合27億元人民幣）。同時(shí)其大小約等于一輛雙層巴士，重量高達(dá)150噸，也就是150000KG。

而這樣的光刻機(jī)，是無法安裝完全后，再運(yùn)輸?shù)?，運(yùn)輸時(shí)以會(huì)拆開，以組件的方式運(yùn)送到客戶單位，然后再組裝。

運(yùn)送的時(shí)候，需要用到250個(gè)貨箱，而安裝的時(shí)候，需要用到250名工程師，然后需要6個(gè)月的時(shí)間，才能全部組裝完成，并聯(lián)調(diào)到位。

所以，雖然ASML向英特爾交付了全球首臺(tái)高數(shù)值孔徑的EUV光刻機(jī)，但實(shí)際上，只是運(yùn)送到英特爾，接下來這臺(tái)光刻機(jī)正式啟用運(yùn)轉(zhuǎn)，至少得半年之后。

而按照英特爾的計(jì)劃，自己的INTEL 2工藝，也就是2nm芯片，得到2025年才能制造出來，所以這臺(tái)光刻機(jī)的實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)日期，也會(huì)到2025年去了。

之前ASML的總裁稱，當(dāng)數(shù)值孔徑達(dá)到0.55之后，暫時(shí)可能就會(huì)告一段落了，甚至是最后一代EUV光刻機(jī)都有可能，ASML表示在現(xiàn)有技術(shù)條件之下，他們無法再提升數(shù)值孔徑了。

目前EUV光刻機(jī)提升分辨率，有三個(gè)方向，一是降低光源波長，但13.5nm的極紫外線已經(jīng)是極限，無法再降低了。二是提升數(shù)值孔徑，但這一步也卡住了，ASML表示無法提升了，0.55是極限了。

還有就是提升光刻工藝因子，但目前的技術(shù)，也接近物理極限，無法提升了。

短時(shí)間來看，三個(gè)方向都是絕路，也就意味著EUV光刻機(jī)的分辨率暫時(shí)無法提升了，那么接下來，EUV光刻機(jī)的發(fā)展，會(huì)朝哪個(gè)方向呢？誰也不清楚。

那么佳能的NIL納米壓印等，在未來會(huì)不會(huì)接替EUV光刻機(jī)，成為主流呢？