眾所周知，測(cè)量?jī)x器是所有行業(yè)中不可缺少的設(shè)備，半導(dǎo)體領(lǐng)域更是如此，比如硅晶圓的平整度、芯片的大小、光線的波長(zhǎng)，各種設(shè)備的分辨率等等。

而有一家深圳企業(yè)，18年來(lái)，只造出了15臺(tái)測(cè)量?jī)x器，但這些測(cè)量?jī)x器，可不簡(jiǎn)單，針對(duì)的都是工業(yè)需求中的測(cè)量難題，最高分辨率可達(dá)0.1nm，理論上最高可測(cè)量0.1nm的芯片。

這家深圳企業(yè)叫做深圳市中圖儀器股份有限公司，近日還上了央視的新聞報(bào)道。

中圖儀器成立于2005年，一直致力于全尺寸鏈精密測(cè)量?jī)x器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。

其生產(chǎn)出來(lái)的設(shè)備，用于基礎(chǔ)計(jì)量，光學(xué)測(cè)量、微觀尺寸測(cè)量、行業(yè)應(yīng)用檢測(cè)等等，其分辨率可從0.1nm到幾百米。

這些設(shè)備，屬于科研儀器一種，可以應(yīng)用于光學(xué)測(cè)量，比如測(cè)量鏡面平整不平整；可以用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，比如看看制造出來(lái)的硅晶圓平整不平整，起伏有多高。

對(duì)硅晶圓而言，平整度是有要求的，一旦平整度不夠高，是不能用于芯片制造的，否則良率會(huì)非常低。

還可以用于測(cè)量芯片的大小，平整度等，比如央視的新聞中，就是直接對(duì)晶圓表面的6.1nm顯微測(cè)量，發(fā)現(xiàn)其高度差有6.1納米，還需要切割才能使用。

目前國(guó)內(nèi)的科研儀器，基本上是靠進(jìn)口的，2022年數(shù)據(jù)，科研儀器的國(guó)產(chǎn)化率不到10%，其中高端科研儀器，國(guó)產(chǎn)化率更是接近于0。

測(cè)量?jī)x器屬于科研儀器中占比較高的一個(gè)品類(lèi)，國(guó)產(chǎn)能夠達(dá)到0.1nm這種全球頂級(jí)水平，自然是非常重要的。

就拿半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)而言，測(cè)量?jī)x器一直就是核心設(shè)備，之前主要采用的是日本、美國(guó)的設(shè)備，但如今有了這種能分辨率達(dá)到0.1nm的測(cè)量?jī)x器，估計(jì)可以實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代了。

不過(guò)，大家也要注意的是，科研儀器很多都是配套的，這些儀器也是有生態(tài)的，單一的儀器突破，如果不能融入原來(lái)的生態(tài)中，要替代也是不容易的。

所以接下來(lái)期待其它國(guó)產(chǎn)儀器不斷的突破，大家也形成一個(gè)完整的生態(tài)，對(duì)國(guó)外的儀器、設(shè)備等進(jìn)行替代，才是真正的高枕無(wú)憂。