中商情報網訊：電子特氣有著芯片加工之“糧食”的稱號，主要用于集成電路、顯示面板、LED、光伏電池領域，貫穿晶圓加工的制備外延片、清洗、沉積和氧化成膜、光刻、刻蝕、摻雜各環(huán)節(jié)。當前，電子特氣國產替代空間廣闊，國內電子特氣龍頭或將受益于下游需求回暖和國產化率的提升。

一、電子特氣定義

電子特氣指的是工業(yè)氣體中附加值比較高的特殊用途氣體。與傳統(tǒng)工業(yè)氣體在純度和用途上有所區(qū)分。特種氣體的生產過程中涉及合成、純化、混合配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術，流程較為復雜。

電子特種氣體是指應用于電子行業(yè)的氣體，其質量直接影響電子器件的成品率和性能。目前半導體行業(yè)各個環(huán)節(jié)使用的特種氣體有114種，常用的有44種。主要包含有三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，一般采用液態(tài)與瓶裝氣體生產模式，廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環(huán)節(jié)。電子特氣主要產品類別如下：

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

二、電子特氣行業(yè)發(fā)展政策

電子特種氣體作為關鍵性電子材料，近年來得到國家產業(yè)政策的大力支持。國家發(fā)改委、科技部、工信部、財政部、國家稅務總局等部門相繼出臺了《產業(yè)結構調整指導目錄（2023年本，征求意見稿）》《原材料工業(yè)“三品”實施方案》《“十四五”原材料工業(yè)發(fā)展規(guī)劃》《關于“十四五”推動石化化工行業(yè)高質量發(fā)展的指導意見》《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2021年版）》等一系列產業(yè)支持政策，有力推動了電子特種氣體產業(yè)的發(fā)展。國內氣體企業(yè)紛紛加大研發(fā)投入，不斷突破技術難關，逐步實現(xiàn)電子特種氣體產品的國產替代。具體政策如下：

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

三、電子特氣行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

1.電子特氣市場規(guī)模

電子特種氣體是半導體制造的關鍵原材料，主要應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)。近年來，中國電子特種氣體市場規(guī)模持續(xù)增長。中商產業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年中國電子特氣專題研究及發(fā)展前景預測評估報告》顯示，2022年電子特種氣體市場規(guī)模220.8億元。我國電子特氣市場規(guī)模的增長率明顯高于全球電子特氣增長率，未來有較大發(fā)展空間。預計2023年中國電子特氣市場規(guī)模逼近250億元，2024年市場規(guī)模將達262.5億元。

數據來源：SEMI、中商產業(yè)研究院整理

2.競爭格局

中國電子特氣行業(yè)發(fā)展時間較短，目前市場仍由早期進入市場的國外企業(yè)壟斷。數據顯示，中國電子特氣市場前四企業(yè)分別為美國空氣化工、德國林德集團、法國液化空氣、日本太陽日酸，占比分別為25%、23%、22%、16%。

目前，國內電子特氣第一梯隊的廠商已經具備規(guī)模生產能力，在細分領域產品具有一定優(yōu)勢，但和國外龍頭企業(yè)相比還有較大差距，國產替代空間巨大。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

3.重點企業(yè)分析

我國電子特氣行業(yè)經過30年的發(fā)展和沉淀，通過不斷的經驗積累和技術進步，業(yè)內領先企業(yè)已在部分產品上實現(xiàn)突破，達到國際標準，逐步實現(xiàn)進口替代，特種氣體國產化具備了客觀條件。

華特氣體以高純六氟乙烷入手，已實現(xiàn)進口替代并規(guī)?；a品高達50余種，數量在國內特氣公司中居于領頭位置；中船特氣部分產品品質已達到國際領先水平，是國內首個進入5nm制程的電子特氣供應商，旗下六氟化鎢、三氟化氮等產品以實現(xiàn)國產替代；南大光電成功實現(xiàn)了高純砷烷、磷烷等特種電子氣體的產業(yè)化，打破了國外技術封鎖和壟斷，同時氫類電子特氣在技術、品質、產能和銷售各方面已躍居世界前列。

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

4.電子特氣企業(yè)注冊量

近年來，受益于集成電路產業(yè)發(fā)展，電子特氣快速成長，相關企業(yè)大量涌現(xiàn)。數據顯示，2022年電子特氣相關企業(yè)注冊量快速增長，企業(yè)注冊量突破1萬家，同比增長22%。最新數據顯示，2023年1-10月電子特氣新增注冊企業(yè)11869家，同比增長32.7%。

數據來源：企查查、中商產業(yè)研究院整理

5.下游應用情況

電子特種氣體主要用于集成電路、顯示面板、LED、光伏等領域。其中，集成電路占比最多，達43%。其次分別為顯示面板、LED、光伏，占比分別為21%、13%、6%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

四、電子特氣行業(yè)重點企業(yè)

1.華特氣體

廣東華特氣體股份有限公司是一家致力于特種氣體國產化，并率先打破極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板、高端裝備制造、新能源等尖端領域氣體材料進口制約的民族氣體廠商。公司主營業(yè)務以特種氣體的研發(fā)生產及銷售為核心，輔以普通工業(yè)氣體和相關氣體設備與工程業(yè)務，提供氣體一站式綜合應用解決方案，產品廣泛應用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、新能源、航天航空、高端裝備制造、食品、冶金、化工、機械制造、人工智能制造等眾多行業(yè)。

2023年前三季度，華特氣體實現(xiàn)營業(yè)收入11.29億元，同比下降19.51%；實現(xiàn)歸母凈利潤1.22億元，同比下降34.63%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

2022年華特氣體主營業(yè)務包括特種氣體、設備及工程、普通工業(yè)氣體，占比分別為73.33%、12.96%、12.21%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

2.金宏氣體

金宏氣體股份有限公司是一家專業(yè)從事氣體研發(fā)、生產、銷售和服務的環(huán)保集約型綜合氣體供應商，主營業(yè)務可分為特種氣體、大宗氣體和燃氣三大類，氣體品種約100多種，公司主要產品應用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、新能源、高端裝備制造、食品、冶金、化工、機械制造等眾多領域，其中在電子半導體領域，公司已逐步實現(xiàn)了超純氨、高純氧化亞氮、電子級正硅酸乙酯、高純二氧化碳等產品的進口替代。

2023年前三季度，金宏氣體實現(xiàn)營業(yè)收入17.8億元，同比增長23.87%；實現(xiàn)歸母凈利潤2.59億元，同比增長53.31%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

2023年上半年，金宏氣體主營產品包括特種氣體、大宗氣體、燃氣，占比分別為48.61%、36.51%、8.49%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

3.雅克科技

江蘇雅克科技股份有限公司主要致力于電子半導體材料，深冷復合材料以及塑料助劑材料研發(fā)和生產。公司電子材料業(yè)務產品種類豐富，主要包括半導體前驅體材料、光刻膠及配套試劑、電子特氣、硅微粉和半導體材料輸送系統(tǒng)（LDS）等。雅克科技的電子特氣業(yè)務主要通過全資子公司科美特進行，主要包括含氟類特種氣體的研發(fā)、生產、提純與銷售，主要產品為六氟化硫和四氟化碳。

2023年前三季度，雅克科技實現(xiàn)營業(yè)收入35.42億元，同比增長11.84%；實現(xiàn)歸母凈利潤4.81億元，同比增長3.73%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

2023年上半年，雅克科技的電子特種氣體業(yè)務實現(xiàn)營業(yè)收入2.03億元，占總營收的8.72%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

4.南大光電

江蘇南大光電材料股份有限公司創(chuàng)辦于2000年，是從事先進電子材料生產、研發(fā)和銷售的高新技術企業(yè)，形成前驅體材料、電子特氣和光刻膠三大核心業(yè)務布局。產品廣泛應用于制備IC、LCD、LED、OLED、功率器件、半導體激光器等領域。其中，電子特氣板塊主要包括氫類電子特氣產品和含氟電子特氣產品。

2023年前三季度，南大光電實現(xiàn)營業(yè)收入12.81億元，同比增長1.70%；實現(xiàn)歸母凈利潤2.15億元，同比增長1.98%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

2023年上半年，南大光電主營產品包括特氣產品、Mo源產品，營收占比分別為74.68%、13.39%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

5.凱美特氣

湖南凱美特氣體股份有限公司成立于1991年，是以石油化工尾氣火炬氣回收利用的專業(yè)環(huán)保企業(yè)。主要產品為高純食品級液體二氧化碳、液氧、液氮和液氬，廣泛應用于飲料、冶金、食品、煙草、石油、農業(yè)、化工、電子、萃取、冷鏈物流等多個領域。凱美特氣在鞏固二氧化碳氣體行業(yè)龍頭地位的基礎上，加速向全方位的電子特氣領域延伸，形成行業(yè)內具有較大影響力的專業(yè)電子特氣和混配氣體研發(fā)及生產加工基地，聚焦電子特氣的研發(fā)生產。

2023年前三季度，凱美特氣實現(xiàn)營業(yè)收入4.19億元，同比下降23.20%。2023年上半年，凱美特氣主營產品包括二氧化碳、氫氣、燃料類產品、特種氣體、空分氣體，營收占比分別為33.44%、30.36%、25.46%、8.45%、2.01%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

五、電子特氣行業(yè)發(fā)展前景

1.政策利好行業(yè)發(fā)展

近年來，我國先后推出了一系列產業(yè)政策，對集成電路及其配套產業(yè)鏈的發(fā)展予以重點推動支持，電子特種氣體也被列入了鼓勵發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產業(yè)，旨在推動包括特種氣體在內的關鍵材料國產化，有力推動了電子特種氣體產業(yè)的發(fā)展。

2.受益集成電路、顯示面板等產業(yè)發(fā)展，電子特氣有望快速成長

隨著我國經濟由高速增長階段轉向高質量發(fā)展階段，高端制造業(yè)成為國家重點鼓勵發(fā)展的方向，整體市場規(guī)?？焖僭鲩L。5G、人工智能、云計算等新一代信息技術的發(fā)展大幅增加了芯片、顯示面板等硬件的需求。近年來，國內晶圓廠處于密集擴產的周期，進而帶動了相關的上游原材料需求強勁增長。由此，作為關鍵材料的電子特種氣體的市場需求還會進一步擴大，行業(yè)有望快速成長。

3.國產替代為國內電子特種氣體企業(yè)帶來發(fā)展契機

電子特氣是半導體等高科技應用領域和戰(zhàn)略新興產業(yè)發(fā)展不可缺少的基礎原材料，電子特氣的國產化將大幅降低中國芯片制造商的制造成本，提高中國芯片制造業(yè)的競爭力。目前，國內電子特氣市場，特別是高端電子特種氣體國內自給率非常低。因此，特種氣體尤其是電子特氣國產化已迫在眉睫。未來，龍頭企業(yè)不斷填補高端電子特種氣體領域的國內空白，打破國外壟斷、逐步實現(xiàn)進口替代，行業(yè)成長空間可期。