眾所周知，前段時(shí)間美國(guó)商務(wù)部副部長(zhǎng)艾倫·艾斯特韋斯表示，美國(guó)在等中國(guó)的光刻機(jī)壞掉，意思就是一旦壞掉了，美國(guó)又不給許可證，那么光刻機(jī)就無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn)了。

因?yàn)榘凑彰绹?guó)最新的禁令，浸潤(rùn)式光刻機(jī)、EUV光刻機(jī)都不能賣到中國(guó)來(lái)，就算已經(jīng)買到的這些禁令不允許的光刻機(jī)，那么其維修、更換備件也都要許可證的。

那么問(wèn)題來(lái)了，ASML的光刻機(jī)壞了，我們能不能自己修？

目前國(guó)內(nèi)沒(méi)有EUV光刻機(jī)，這個(gè)問(wèn)題就不要說(shuō)了，反正也沒(méi)有EUV，所以也不會(huì)壞，壞了肯定也不會(huì)修。

比較成熟的ArF（干式DUV光刻機(jī)）、KrF、i線、G線光刻機(jī)這些不在限制的范圍之內(nèi)，所以也不要考慮能不能修的問(wèn)題，壞了找ASML來(lái)修即可。

真正要考慮的是被限制住，但又至關(guān)重要的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，也就是ArFi這種，美國(guó)之前的禁令允許ASML出售ArFi光刻機(jī)給中國(guó)的，直到今年的1017禁令，才限制住這種光刻機(jī)，所以國(guó)內(nèi)有很多浸潤(rùn)式光刻機(jī)。

而按照媒體的說(shuō)法，這種ArFi光刻機(jī)，通過(guò)多重曝光，是可以實(shí)現(xiàn)7nm工藝的，而這也是美國(guó)限制的重要原因之一。按照新的禁令，這種光刻機(jī)壞了，如果需要ASML來(lái)維修，或更換備件，是需要許可證的。

所以美國(guó)說(shuō)等中國(guó)的光刻機(jī)壞掉，大概率就是等浸潤(rùn)式光刻機(jī)壞了，我們無(wú)法自己修，那么7nm工藝就實(shí)現(xiàn)不了，意圖就在這。

那么我們能不能修？答案是：目前我們自己還不能修。

之前有位專業(yè)人士表示，由于ASML一直是提供一攬子服務(wù)的，買了他的機(jī)器，后續(xù)的售后全部由ASML包了，且在中國(guó)就有服務(wù)團(tuán)隊(duì)，所以一直以來(lái)，都是ASML自己來(lái)維修。

再加上光刻機(jī)里面本身設(shè)備就非常復(fù)雜，各種光設(shè)備、機(jī)械設(shè)備，線路等非常復(fù)雜，維修并不容易，國(guó)內(nèi)也沒(méi)有這一塊的專業(yè)工程師，畢竟自己也造不出來(lái)。

且國(guó)內(nèi)也沒(méi)有備件，某個(gè)零部件壞了，只能靠ASML提供備件來(lái)更換，沒(méi)有替代品的。

但是，如果ASML不給修了，沒(méi)辦法了，我們只能自己修了，至于能修到什么程度，誰(shuí)也不清楚，這個(gè)是一步一步來(lái)的，也許過(guò)程會(huì)比較艱難，但如果能修好，對(duì)于研發(fā)自己的光刻機(jī)，也是有積極意義的。

另外國(guó)內(nèi)在零部件這一塊，可能是個(gè)硬傷，畢竟國(guó)內(nèi)光刻機(jī)技術(shù)本來(lái)就落后一些，不太可能能夠生產(chǎn)出ASML的浸潤(rùn)式光刻機(jī)的備件出來(lái)，但還是那句話，關(guān)鍵時(shí)候，也只能試一試了，不可能真的壞掉，就變成廢鐵了吧。

好在光刻機(jī)沒(méi)這么容易壞掉，一般周期需要3-5年才會(huì)維修或更換備件什么的，而3-5年之后，會(huì)是什么樣的，誰(shuí)又清楚了，或許中國(guó)自己的EUV光刻機(jī)都研發(fā)出來(lái)，還擔(dān)心個(gè)啥。