眾所周知，前段時(shí)間佳能正式在官網(wǎng)官宣，其旗下的NIL納米壓印光刻機(jī)生產(chǎn)設(shè)備 FPA-1200NZ2C出貨了，而這個(gè)光刻機(jī)，與EUV光刻機(jī)不同，是繞開(kāi)EUV的另外一種納米壓印技術(shù)，但是能夠生產(chǎn)5nm芯片。

一時(shí)之間，讓整個(gè)芯片圈震蕩，因?yàn)橐郧八?nm以下的芯片制造，都必須使用EUV光刻機(jī)，而全球僅ASML一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，佳能此舉相當(dāng)于打破了ASML壟斷，能夠改寫(xiě)整個(gè)市場(chǎng)格局。

不過(guò)，當(dāng)時(shí)很多人對(duì)佳能的NIL納米壓印光刻機(jī)存疑，因?yàn)榫烤故裁磿r(shí)候銷(xiāo)售，成本又是什么樣的，能效比，效率，良率等都沒(méi)有。

而近日，佳能首席執(zhí)行官三井藤夫接受媒體采訪，說(shuō)出了很多關(guān)鍵的指標(biāo)參數(shù)，或許可以部分解決大家的疑問(wèn)了。

按照三井藤夫的說(shuō)法，佳能的納米壓印光刻機(jī)，其售價(jià)只有EUV光刻機(jī)的10%左右。同時(shí)其耗電量也只有EUV 技術(shù)的10%。

另外從總投資成本來(lái)看，用NIL納米壓印技術(shù)，可讓設(shè)備投資成本降低至原有EUV設(shè)備的40%左右。

而關(guān)于納米壓印光刻機(jī)，三井藤夫提到，它可以更為靈活的為客戶(hù)生產(chǎn)小批量芯片，甚至可以讓芯片設(shè)計(jì)工廠，不必再依賴(lài)于晶圓代工廠來(lái)進(jìn)行流片，以及生產(chǎn)小批量的芯片。

由此可以推測(cè)，其量產(chǎn)能力應(yīng)該不會(huì)非常強(qiáng)，畢竟對(duì)于一般的芯片設(shè)計(jì)企業(yè)而言，不需要大規(guī)模的產(chǎn)線，只需要小批量的生產(chǎn)線來(lái)驗(yàn)證即可，所以納米壓印光刻機(jī)，更適用于小規(guī)模生產(chǎn)。

估計(jì)到了這里，馬上就會(huì)有人反應(yīng)過(guò)來(lái)，那么這比較適合華為，華為是芯片設(shè)計(jì)廠，但目前因?yàn)楸娝苤脑?，制造被卡了，所以急需這種設(shè)備，自己生產(chǎn)芯片，又是5nm工藝。

而三井藤夫正確認(rèn)，這種設(shè)備是不能賣(mài)到中國(guó)來(lái)的，之前日本的出口管制清單，當(dāng)中就有限制“可實(shí)現(xiàn)45nm以下線寬的壓印光刻裝置”。

而最為明確的規(guī)定則是用于14nm及以下芯片制造的設(shè)備，是無(wú)法出口到中國(guó)大陸來(lái)的，所以佳能這種設(shè)備，也無(wú)法賣(mài)給中國(guó)。

但不管怎么樣，雖然我們暫時(shí)無(wú)法買(mǎi)到，但也給我們指了一個(gè)方向，同時(shí)也給了ASML一擊暴擊，后續(xù)EUV光刻機(jī)，也沒(méi)這么神了。