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光刻機之父林本堅發(fā)聲,中國芯片可自主研發(fā)5納米,美國攔不住

2023-11-02 來源:柏銘007
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關鍵詞: 臺積電 芯片 ASML

外媒報道指早已退休的臺積電前研發(fā)副總林本堅接受采訪的時候表示,美國無法阻止中國研發(fā)先進工藝,還認為中國可以利用現有設備研發(fā)更先進的5納米工藝,他的表態(tài)讓外媒相當吃驚。



林本堅如此說法在中國的華為研發(fā)出相當于7納米工藝的麒麟9000S之后,他認為中國芯片行業(yè)展現了顯著的韌性和獨創(chuàng)性,因此認為中國芯片行業(yè)不會局限于7納米工藝,更可能實現5納米工藝。


林本堅被譽為浸潤式光刻機之父,當年日本壟斷了光刻機行業(yè),佳能、尼康合計占光刻機市場近八成的市場份額,不過這兩家日本企業(yè)研發(fā)的光刻機為干式光刻機,林本堅則提出了浸潤式光刻機。


日本光刻機企業(yè)基于自己的利益并不認同林本堅的浸潤式光刻機技術,當時陷入困境的ASML找上門來,于是臺積電和ASML合作研發(fā)浸潤式光刻機,2008年ASML的浸潤式光刻機已取得主導地位,日本的光刻機產業(yè)由此迅速敗落。


與ASML的合作不僅改變了光刻機行業(yè),臺積電也借此實現了飛躍,芯片制造工藝取得了突破,迅速成為芯片代工行業(yè)的佼佼者,林本堅由此被譽為浸潤式光刻機之父。



中國芯片行業(yè)這幾年一直受制于光刻機,在芯片制造的諸多環(huán)節(jié)除了光刻機之外都已取得宏達突破,刻蝕機更已達到5納米水平,居于全球領先水平。


這些環(huán)節(jié)的突破,證明了中國芯片行業(yè)在技術方面具有扎實的基礎,有信心有能力推進國產芯片產業(yè)鏈的發(fā)展。


正是麒麟9000S的發(fā)布,外媒認為中國在光刻機技術方面取得了重大突破,這對于外媒可謂是震驚的消息,畢竟光刻機是一款非常復雜的機器,ASML的EUV光刻機需要10萬個部件,需要全球5000家企業(yè)合作,而中國卻能僅靠自己的產業(yè)鏈實現光刻機量產。


美國也試圖借光刻機卡中國芯片的脖子,拉攏荷蘭阻止對中國出口先進的光刻機,不過隨著華為麒麟9000S的發(fā)布,荷蘭突然在9月份給ASML許可,允許ASML對中國出口更先進的2000i光刻機。



林本堅的說法,讓外媒重新認識中國芯片產業(yè),畢竟他對光刻機的技術研發(fā)有更深刻的認識,作為臺積電前技術研發(fā)副總更是理解芯片制造過程,他對中國芯片產業(yè)的肯定更有可信性。


光刻機是現有硅基芯片技術的重要設備,硅基芯片技術由美國主導,中國在硅基芯片技術上的研發(fā)只能是跟隨,而中國也深刻明白這一點。


為了實現彎道超車,中國除了繼續(xù)研發(fā)硅基芯片技術之外,也在其他芯片技術方面推進,例如小芯片技術、量子芯片技術等,近日清華大學又公布了一項光電模擬芯片(ACCEL),都是中國芯片在新技術方面的探索。



筆者相信,中國芯片不會永遠受制于美國技術,必然在未來開辟芯片技術新路線,彎道超車有很大的可能性,到那時候中國芯片將突破美國技術的桎梏,真正形成自己的芯片技術體系,外媒因此認為美國擋不住中國芯片發(fā)展的腳步。



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