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俄羅斯將搞定7nm,佳能搞定5nm光刻機(jī),給我們什么啟示?

2023-10-17 來(lái)源:科技專家
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關(guān)鍵詞: 光刻機(jī) 芯片 中芯國(guó)際

近日,芯片光刻機(jī)又有了大突破,不過(guò)都和中國(guó)無(wú)關(guān),一是俄羅斯報(bào)道稱只花了37萬(wàn)元,就生產(chǎn)出了DUV級(jí)別的光刻機(jī),然后還表示在明年要搞定7nm的樣機(jī)。


另一家是日本光刻機(jī)巨頭佳能表示,生產(chǎn)5nm芯片的光刻機(jī)正式銷售,不過(guò)這種光刻機(jī),不是大家熟悉的EUV光刻機(jī),而是采用NIL納米壓印技術(shù)。



這兩個(gè)消息,都是國(guó)外的突破,都與中國(guó)光刻機(jī)無(wú)關(guān),但這兩件事情,還是給我們非常大的啟示,我覺(jué)得國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),真的需要重視。


俄羅斯之前是不能生產(chǎn)光刻機(jī)的,哪怕最簡(jiǎn)單的i線、G線光刻機(jī),俄羅斯都是進(jìn)口的,這次居然直接生產(chǎn)出了DUV級(jí)別的,還只花了37萬(wàn)元,你說(shuō)這震撼不震撼?


同時(shí)俄羅斯還提出了X射線方案,表示明年要生產(chǎn)出7nm光刻機(jī)的樣機(jī),這可是相當(dāng)大的一步了。



而佳能之前的的技術(shù)只有ArF光刻機(jī),與上海微電子是同一水平的,現(xiàn)在突然就進(jìn)入了5nm,還采用了NIL這種全新的技術(shù),繞過(guò)了EUV方案。


這說(shuō)明,光刻機(jī)并沒(méi)有想象中的難,只要努力,一定能夠突破的,要知道中國(guó)在光刻機(jī)技術(shù)上有很多積累,從其研發(fā)歷史來(lái)看,其實(shí)最早與美國(guó)相差并不大的,有很多經(jīng)驗(yàn),難道還比不上俄羅斯?還比不上佳能?



另外,俄羅斯換道X射線方案,佳能換道 NIL技術(shù)方案,都繞開(kāi)了EUV技術(shù),為什么會(huì)繞開(kāi),這是因?yàn)锳SML已經(jīng)將EUV方案的核心供應(yīng)鏈,全撐在自己手中了,其它廠商,要想在EUV上走通,非常難,需要重塑整個(gè)供應(yīng)鏈。


而俄羅斯的X射線方案,佳能的NIL方案,都繞開(kāi)了EUV,就是避免在ASML掌握的地盤上重新搞一堆供應(yīng)鏈出來(lái),而這兩種方案,似乎都有了好的結(jié)果,所以我們是繼續(xù)在ASML壟斷的路上死磕EUV,還是換道超車呢?



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