中商情報(bào)網(wǎng)訊：涂膠顯影設(shè)備是光刻工序中與光刻機(jī)配套使用的涂膠、烘烤及顯影設(shè)備，包括涂膠機(jī)、噴膠機(jī)和顯影機(jī)。根據(jù)使用方式不同可分為單獨(dú)使用（Off Line）和聯(lián)機(jī)作業(yè)（In Line）。

市場(chǎng)規(guī)模

涂膠/顯影機(jī)作為光刻機(jī)的輸入和輸出設(shè)備，主要通過機(jī)械手使晶圓在各系統(tǒng)之間傳輸和處理，從而完成晶圓的光刻膠涂覆、固化、顯影、堅(jiān)膜等工藝過程，是集成電路制造過程中不可或缺的關(guān)鍵處理設(shè)備。中商產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2017-2027全球及中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)深度研究報(bào)告顯示，2021年中國涂膠顯影設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)9.4億元，同比增長21.7%，2022年市場(chǎng)規(guī)模約為11.1億元。中商產(chǎn)業(yè)研究院分析師預(yù)測(cè)，2023年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)12.8億元.

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

競(jìng)爭(zhēng)格局

TEL在中國大陸的市占率高達(dá)91%，其次為Screen（迪恩士），占比接近5%，中國芯源微涂膠顯影設(shè)備國產(chǎn)化率僅為4%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理