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國產(chǎn)刻蝕機(jī)大進(jìn)步:達(dá)到3nm,拿下國內(nèi)60%份額,逼退美企

2023-08-31 來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
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關(guān)鍵詞: 光刻機(jī) 半導(dǎo)體 英特爾

眾所周知,在目前的芯片制造工藝中,光刻機(jī)、刻蝕機(jī)是必不可少的兩個(gè)重要工具。


如果從所有的半導(dǎo)體設(shè)備的成本來看,光刻設(shè)備占其中的20%,而蝕刻設(shè)備占其中的23%,兩者占其中的43%的比例,足以證明光刻--蝕刻有多重要了。



光刻與蝕刻也是成套使用的,光刻工藝后,就是蝕刻工藝,缺一不可,不可替代。


而光刻機(jī)方面,國內(nèi)的技術(shù)很落后,這個(gè)大家都清楚的。但刻蝕機(jī)方面,國內(nèi)的技術(shù)可不差,完全是國際先進(jìn)水平。


之所以這么強(qiáng),這是因?yàn)橐患夜?,那就是中微半?dǎo)體,由尹志堯博士于2004年創(chuàng)立。



在創(chuàng)立中微半導(dǎo)體之前,尹志堯博士曾在英特爾、泛林、應(yīng)用材料等企業(yè)均工作過,積累了大量的經(jīng)驗(yàn)、技術(shù)和人脈。


按照媒體的說法,尹志堯個(gè)人在半導(dǎo)體行業(yè)擁有86項(xiàng)美國專利和200多項(xiàng)各國專利,被譽(yù)為“硅谷最有成就的華人之一”。


后來他看到中國半導(dǎo)體技術(shù)相對(duì)落后,于是在2004年的時(shí)候,他帶著錢,帶著一批精英人才回國(據(jù)稱第一批是15個(gè)),創(chuàng)辦了中微,誓要打破國外的壟斷。



在2007年的時(shí)候,中微研發(fā)出了第一代介質(zhì)刻蝕機(jī),并且全球首次采用可單臺(tái)獨(dú)立操作的雙反應(yīng)臺(tái),效率甚至比國外同類產(chǎn)品還要高30%。


然后中微不斷的努力,中微的刻蝕機(jī)技術(shù)不斷的進(jìn)步,達(dá)到了全球最先進(jìn)的水平,目前已經(jīng)被用于某晶圓廠的3nm芯片生產(chǎn)線中。



而近日,中微更是表示,中微在中國電容耦合等離子體(CCP)刻蝕設(shè)備市場(chǎng)的市場(chǎng)份額預(yù)計(jì)將從去年10月的24%增至60%。在電感耦合等離子體(ICP)工具市場(chǎng),其份額可能會(huì)從幾乎為零上升到75%。


合計(jì)來看,中微今年在國內(nèi)的刻蝕市場(chǎng)份額,可能提升至60%,而之前占據(jù)主導(dǎo)地位的美國泛林半導(dǎo)體、應(yīng)用材料等,全部被中微打的節(jié)節(jié)敗退了。


接下來,希望其它國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備,特別是光刻機(jī),也能夠像中微的刻蝕機(jī)一樣,達(dá)到全球先進(jìn)水平,實(shí)現(xiàn)5nm、3nm,那么中國芯片產(chǎn)業(yè),就再也不怕美國卡脖子了。



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