國產(chǎn)芯片制造工藝,或要繞過EUV光刻機了,已有重大進展
眾所周知,目前硅基芯片的制造,離不開光刻工藝。
而光刻工藝,則離不開光刻機,而全球目前僅4家半導體芯片制造的光刻機廠商,分別是ASML、尼康、佳能、上海微電子。
其中ASML最牛,擁有EUV光刻機、浸潤式光刻機、干式光刻機等各種高、中低端光刻機,份額高達80%+。
尼康第二牛,擁有除EUV光刻機之外的其它光刻機,最高水平是浸潤式光刻機。佳能排第三,不過最高水平是干式光刻機。而上海微電子實際也能生產(chǎn)干式光刻機,但分辨率只有90nm,相對最差。
干式光刻機最高只能支持65nm芯片,浸潤式光刻機最高能達到7nm工藝,而7nm工藝之后則需要EUV光刻機。
所以目前,國內(nèi)的光刻機,基本上都是從ASML、尼康、佳能進口,畢竟上海微電子的光刻機,確實差那么一丟丟,從上面的市場份額圖也可以看到,國產(chǎn)光刻機的份額沒列出來,因為基本接近于0,沒有列的必要。
在這樣的情況之下,光刻機已經(jīng)嚴重拖了國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)的后腿,也導致目前美國拿光刻機卡著國內(nèi)的芯片產(chǎn)業(yè)。
比如EUV不賣到中國來,而浸潤式光刻機也受限, ASML的浸潤式光刻機中,先進的兩款不賣,只有一款落后的可以賣。而尼康的光刻機,同樣的先進的不賣。
也在這樣的情況之下,大家都認為,國產(chǎn)光刻機必須突破,要早點開發(fā)出EUV光刻機出來才行,才能夠真正打破壟斷,讓禁令成為廢紙。
不過,從目前的情況來看,國產(chǎn)芯片制造,要繞過EUV的可能性更高,為什么呢?因為有了一項新技術,那就是NIL納米壓印。
EUV光刻機是非常難的,ASML已經(jīng)將產(chǎn)業(yè)鏈捆綁在一起了,其它廠商很難避開EUV產(chǎn)業(yè)鏈,生產(chǎn)出EUV光刻機出來。
但NIL納米壓印技術不同,沒有被誰捆綁住,同時門檻相對較低,更重要的是NIL壓印技術,目前佳能已經(jīng)進度良好,佳能表示到2025年時實現(xiàn)5nm工藝。
而國內(nèi)也有公司,目前雖然沒有達到佳能的水準,但表現(xiàn)也不錯,比如天仁微納的納米壓印設備,已經(jīng)可以在150/300mm基底面積上實現(xiàn)高精度(優(yōu)于10nm )了。
可見,納米壓印技術,在國內(nèi)很可能比EUV光刻機發(fā)展的更快,也許當國產(chǎn)EUV光刻機還沒影時,NIL納米壓印技術,就進入5nm了。
所以正如我標題所言,國產(chǎn)芯片制造工藝,或要繞過EUV光刻機了,不信,大家等著瞧,畢竟佳能也是這么想的。
