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ASML為應對芯片禁令,或推中國特供光刻機?

2023-07-07 來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
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關鍵詞: 光刻機 英偉達 英特爾

眾所周知,近日關于光刻機的禁令靴子落地了。


按照荷蘭的規(guī)則,用于14nm及以下芯片的制造的設備/技術,不能出口,除非獲得許可證。原則基本與美國是一致的。


在光刻機上,荷蘭稍微的放開了一點點,那就是浸潤式光刻機中,TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)型號不能出口,但NXT:1980Di可以出口。



這款NXT:1800Di光刻機,非常特殊,采用193nm光源,分辨率小于等于38nm,數(shù)值孔徑為1.35NA,目前全球晶圓廠們在使用它時,大多是生產(chǎn)14nm以上邏輯工藝,也就是28nm及以上。


但另外一方面,它又是一臺浸潤式光刻機,雖然是193nm光源,但經(jīng)過水介質(zhì)之后,等效于134nm的光源,那么經(jīng)過多重曝光之后,理論上依然可以滿足14nm甚至7nm左右的工藝生產(chǎn)。


所以它是一臺比較敏感的光刻機,可以禁止出口,也可以不禁止,就看如何去定性了。



也因為它的敏感性,ASML也有點左右為難,所以有媒體報道稱,ASML正在做一個計劃,那就是閹割這臺NXT:1980Di光刻機,使其不敏感,能夠不受爭議的出口到中國來。


怎么閹割呢,就是對其支持的工藝進行改進,比如說讓它無法支持到14nm及7nm這個級別,只能讓他用于28nm工藝。


這樣ASML就可以沒有爭議的將它出口出去,不會有任何問題。



要知道之前日本,為了解決這種有爭議的設備,也就是既能用于28nm及以上的工藝,也能用于14nm及以下工藝的設備,日本是直接一刀切,全部禁止出口的。


但對于ASML而言,又不想這么干,因為如果一臺浸潤式光刻機也不能賣到中國來,那么中國有可能研發(fā)出自己的光刻機,那么ASML就可能與中國市場無緣了。


ASML的總裁溫克寧曾經(jīng)說過說,如果對中國進行禁售,要不了多久,中國什么都能自己搞出來,那么就沒我們什么事了。



所以對于ASML而言,一方面是不想丟掉中國這個市場,但另外一方面又要讓出口的光刻機,沒有爭議,所以閹割其受爭議的功能,確實是一個好辦法,畢竟英偉達、英特爾都干過類似的事情,將芯片進行閹割,讓它能夠符合出口禁令,不被管制。


當然,以上也只是媒體的猜測,ASML會不會真的這么干,還是一個未知數(shù),但說實話,這事是完全有可能發(fā)生的,因為ASML有動力,有理由這么干。



最后,還是希望國產(chǎn)光刻機趕緊雄起,先不說EUV光刻機,只要我們自己能夠研發(fā)出浸潤式光刻機,情況就會立即改變,一旦我們有了,禁令估計也就沒有任何意義了,就像刻蝕機一樣,我們擁有3nm技術的刻蝕機,所以刻蝕機就不存在禁令。



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