實(shí)話實(shí)說(shuō),除了ASML,全球很難再有企業(yè)研發(fā)出EUV光刻機(jī)
關(guān)鍵詞: 臺(tái)積電 中芯國(guó)際 光刻機(jī)
在光刻機(jī)領(lǐng)域,ASML一家占了全球近80%的份額。
而在EUV領(lǐng)域,ASML一家占了100%的份額,在DUV光刻機(jī)中的浸潤(rùn)式光刻機(jī)中,ASML一家占了90%+以上的份額。
可以說(shuō),高端光刻機(jī)是ASML的天下,其中EUV光刻機(jī)更是ASML的獨(dú)家生意。
這可能就讓人納悶了,目前EUV光刻機(jī)這么搶手,intel、三星、臺(tái)積電、美光、SK海力士等都在搶EUV光刻機(jī),ASML的產(chǎn)能也不大,EUV光刻機(jī)是一機(jī)難求。
但為何像尼康、佳能等其它光刻機(jī)廠商,基本上都不去碰EUV光刻機(jī)呢?大家都想要進(jìn)入EUV光刻機(jī)這樣的先進(jìn)領(lǐng)域,但都不是EUV的方向,更多的還是選擇另外的方向,比如NEL電子束、DSA自生成技術(shù)、NIL納米壓印等,都與EUV方向不一樣。
其實(shí)很簡(jiǎn)單,那就是除了ASML之外,全球很難再有企業(yè),能夠研發(fā)出EUV光刻機(jī),它不僅僅是技術(shù)上的問(wèn)題,更是商業(yè)上的問(wèn)題。
ASML的EUV光刻機(jī),并不是ASML獨(dú)立造出來(lái)的,ASML曾說(shuō)過(guò),自己最多只生產(chǎn)其中15%的核心部件,另外的85%是全球供應(yīng)鏈提供的。
從技術(shù)方面來(lái)看,ASML已經(jīng)拉攏了德國(guó)蔡司、美國(guó)企業(yè)Cymer,再與德國(guó)TRUMPF公司,從光源、物鏡、工作臺(tái)等方面,形成了技術(shù)共同體,大家要獲得這個(gè)技術(shù)很難。
更難的是從商業(yè)上面,ASML與下游的晶圓廠是一體的,比如臺(tái)積電、intel、三星等是ASML的股東,大家一起合作共同開(kāi)發(fā)EUV光刻機(jī),大家捆在一起,利益共享。
而EUV的市場(chǎng)本身其實(shí)并不大,別看它這么搶手,但基于高端芯片市場(chǎng)的需求,EUV光刻機(jī)的市場(chǎng)規(guī)模,也就只能養(yǎng)活一家ASML這樣的廠商,再多一家都困難。
所以其它任何一家廠商,就算研發(fā)出了EUV光刻機(jī),最終雙方都可能活不下來(lái),要打價(jià)格戰(zhàn),打死另外一家,才能夠活下來(lái)。
這種價(jià)格戰(zhàn),其實(shí)是不利于整個(gè)行業(yè)的,所以像臺(tái)積電、三星、intel這樣的廠商,還有EUV光刻機(jī)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的廠商,都不會(huì)愿意看到這樣的情況,到時(shí)候是幾敗俱傷,沒(méi)有贏家。
所以另外的廠商,也明白這個(gè)道理,基本不會(huì)去從EUV領(lǐng)域入手,去搶ASML的市場(chǎng),因?yàn)榛旧喜粫?huì)成功。而ASML也明白這個(gè)道理,所以也不會(huì)亂定價(jià),會(huì)定一個(gè)大家接受,且相對(duì)合理的價(jià)格,維持整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的平衡,讓大家真正捆在一起,不給其它廠商機(jī)會(huì)。
所以,這也是目前為何其它光刻機(jī)廠商,就算想進(jìn)入先進(jìn)制程,也不會(huì)從EUV入手的原因,而是選擇另外方向,因?yàn)榱硗夥较蛏?,ASML沒(méi)有與上、下游、以及整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈形成捆綁,這樣才有機(jī)會(huì)。
至于中國(guó)廠商,會(huì)不會(huì)從EUV光刻機(jī)入手?現(xiàn)在討論這個(gè)還太早了,國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)還處于90nm階段,先邁進(jìn)浸潤(rùn)式階段再說(shuō),等掌握了浸潤(rùn)式,再來(lái)考慮EUV,路還是要一步一步慢慢走才行。
