現(xiàn)在光刻機(jī)的原理，不管是DUV，還是EUV，大家都懂的，其實(shí)就是類似于單反相機(jī)，用光線，把掩膜板上的圖形，縮小以后投影到硅片上。

只不過(guò)光刻機(jī)的像素更高，7nm芯片光刻的話，像素要在室1600億像素才行，目前手機(jī)攝像頭像素最高為2億，光刻機(jī)至少是2億像素的800倍。

DUV、EUV光刻機(jī)，只不過(guò)是曝光的光線不同而已，比如DUV采用的是243nm或193nm的深紫外線，而EUV采用的是13．5nm的極紫外線。

明明這么簡(jiǎn)單的原理，為何卻造不出來(lái)？這里，其實(shí)關(guān)鍵還是我們?nèi)鄙僖患蚁癫趟具@樣的頂級(jí)光學(xué)設(shè)備廠商。

在光刻機(jī)里面，有三大核心，不管是DUV，還是EUV都是如此。這三大核心是光源、物鏡系統(tǒng)，工作臺(tái)。

光源就是193nm或13．5nm的光源。而物鏡系統(tǒng)就是怎么將這些控制好，進(jìn)行精細(xì)的光刻。而工作臺(tái)，則是放置晶圓，然后根據(jù)芯片設(shè)計(jì)圖，精細(xì)的控制這些晶圓的移動(dòng)，別刻歪了。

目前國(guó)內(nèi)在光源、工作臺(tái)上，其實(shí)是有一些積累的，所以國(guó)產(chǎn)DUV光刻機(jī)是有的，上海微電了就有這種光刻機(jī)。

但物鏡系統(tǒng)上，就真的被卡住了。

拿EUV光刻機(jī)來(lái)說(shuō)，使用13．5nm的光線，這種光線波長(zhǎng)太短，空氣都穿不透，所以只能在真空中傳播，同時(shí)現(xiàn)實(shí)中沒(méi)有任何材料能夠反射它。

所以要控制這種光線，需要幾十層鉬和硅層層疊疊摞起來(lái)，還要在鏡片上鍍膜才能完成，每一層膜都只有納米級(jí)別的厚度，每層誤差不能超過(guò)0．01納米。

這樣的鏡面究竟有多平整？要求是起伏度要低于在地球表面大小的平面上放一根頭發(fā)絲。

目前國(guó)內(nèi)擁有這個(gè)技術(shù)的光學(xué)廠商沒(méi)有，甚至全球也就蔡司一家才有，連尼康、索尼這樣的日本頂級(jí)光學(xué)設(shè)備廠商，都做不出來(lái)。

有人稱，從0開(kāi)始，直到擁有這種光學(xué)技術(shù)，可能比從0開(kāi)始，制造光刻機(jī)都更難。因?yàn)楣饪虣C(jī)的核心原理，其實(shí)就是制造出全世界最大、最精細(xì)的單反，核心在于光學(xué)系統(tǒng)。

所以，如果大家在網(wǎng)上看到什么國(guó)產(chǎn)EUV光刻機(jī)有突破了，馬上要推出了之類的新聞，先看看突破的是光源，還是工作臺(tái)，或者是光學(xué)設(shè)備。

如果光學(xué)設(shè)備沒(méi)有突破，那么就是假的，因?yàn)槟壳皣?guó)產(chǎn)連DUV的物鏡系統(tǒng)都搞不定，需要進(jìn)口，EUV就更不要說(shuō)了，這種技術(shù)沒(méi)有捷徑，也不可能彎道超車(chē)，只有一步一步來(lái)的，類似于建房子，第1層都沒(méi)建好，你說(shuō)直接從空中開(kāi)始，修第30層，誰(shuí)信？