考慮到ASML是集全球之力造EUV光刻機(jī)，且與上下游形成了利益同盟，所以其它廠商想在EUV光刻機(jī)上超過(guò)ASML，基本上不可能的。

所以其它廠商，只能另想辦法，換道超車(chē)，用另外的技術(shù)來(lái)替代EUV光刻機(jī)。

目前已經(jīng)有三大方案，都被認(rèn)為是可以替代EUV光刻機(jī)方案的，并且被大家重視，很多企業(yè)更是投入巨資研發(fā)，以期有所突破，進(jìn)而替代EUV光刻機(jī)。

第一大方案是NIL納米壓印，其原理類(lèi)似于打印機(jī)一樣，先在模具上刻上納米電路的圖案，再把這個(gè)圖壓在硅片的感光材料上，同時(shí)用紫外線照射，就能完成轉(zhuǎn)印，這種方式可以達(dá)到至少2nm的精度。

佳能一直非常重視NIL納米壓印技術(shù)，甚至在2021年就造出了機(jī)器，被鎧俠用于NAND閃存制造中，只不過(guò)目前精度還不太夠，不能替代EUV光刻機(jī)。

但在NIL技術(shù)上，佳能的專(zhuān)利最多，技術(shù)最成熟、最先進(jìn)，很明顯，佳能就押注這個(gè)技術(shù)了。

第二大方案是電子束光刻機(jī)(EBL)，用高能電子束來(lái)替代極紫外線，電子對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)只有0.04納米，加工精度就比EUV又高了不少。

目前在這一塊比較突出的是美國(guó)，前不久前段時(shí)間美國(guó)公司Zyvex，就搞出了一臺(tái)電子束光刻機(jī)(EBL)，并制造了768皮米（0.768nm）。

并且Zyvex還接受電子束光刻機(jī)訂單，稱(chēng)只需要6個(gè)月就可以交貨，很明顯，這種技術(shù)也能夠替代EUV光刻機(jī)，唯一的用這種方式，速度非常慢，但后期還有改進(jìn)空間。

第三大方案則是自組裝（DSA）光刻，所以謂的自組裝光刻，就是用一些化學(xué)物質(zhì)，誘導(dǎo)光刻材料在硅片上自發(fā)組成我們需要的結(jié)構(gòu)，中間不需要光刻機(jī)參與。

這種方式比傳統(tǒng)光刻分辨率更高，加工速度也不受影響，但它對(duì)材料控制的要求特別高，目前還沒(méi)有成熟的解決方案，還處在實(shí)驗(yàn)室階段。

而對(duì)這一技術(shù)研究較深的是比利時(shí)微電子中心、麻省理工學(xué)院，他們都建立了自組裝產(chǎn)線，進(jìn)行相關(guān)研究，三星在DSA上申請(qǐng)的專(zhuān)利最多，也非常重視這一 技術(shù)。

至于俄羅斯曾提出X-射線方案等， 但這些在目前并不主流，主流的還是以上三種方案，并且這三種方案中的一種或幾種，也非常有可能在未來(lái)替代EUV光刻機(jī)。

不過(guò)可惜的是，當(dāng)前我們似乎在這三種方案上都不太突出，當(dāng)然也有可能是保持低調(diào)，不愿意秀出實(shí)力來(lái)，但不得不說(shuō)，研究EUV光刻機(jī)，或者研究能替代EUV光刻機(jī)的技術(shù)，對(duì)于中國(guó)芯而言，是勢(shì)在必行，再難也要上的，否則中國(guó)芯就會(huì)一直被卡脖子，你覺(jué)得呢？