中商情報網(wǎng)訊：半導體設備是實現(xiàn)半導體制造工藝的媒介工具，在各個環(huán)節(jié)均發(fā)揮重要作用。近年來，半導體行業(yè)國產(chǎn)化進程進一步提速，且半導體設備環(huán)節(jié)業(yè)績比整體行業(yè)更具彈性。半導體設備國產(chǎn)化迎黃金浪潮，國產(chǎn)半導體設備正迎來更充沛的驗證試用、技術(shù)合作、進口替代機遇。

一、半導體設備定義及產(chǎn)業(yè)鏈

半導體專用設備泛指用于生產(chǎn)各類半導體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設備，屬于半導體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的支撐環(huán)節(jié)。在整個芯片制造和封測過程中，會經(jīng)過上千道加工工序，細分又可以劃分出百種不同的機臺，占比較大市場份額的主要有：光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備、離子注入機、測試機、分選機、探針臺等。

半導體設備產(chǎn)業(yè)鏈中，上游為零部件和系統(tǒng)軟件；中游為半導體設備，光刻機、刻蝕機、離子注入機、涂膠顯影設備、氧化爐、CMP/CVD/PVD設備、質(zhì)檢及電學檢測設備等；下游為半導體產(chǎn)品，主要包括分立器件、光電子器件、傳感器和集成電路。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

二、半導體設備行業(yè)發(fā)展政策

半導體設備是半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎和技術(shù)進步的關(guān)鍵，在半導體產(chǎn)業(yè)中占有重要地位。為推動半導體設備行業(yè)發(fā)展，增強產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和國際競爭力，我國近年來從戰(zhàn)略地位、人才、資金、技術(shù)、稅收、市場等各方面出臺了一系列支持性政策。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

三、半導體設備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

1.市場規(guī)模

中國半導體設備的市場規(guī)模增速明顯，從2017年的554.18億元增長至2019年的905.70億元。2020年，中國半導體設備市場亦保持快速增長趨勢，銷售額為1260.62億元，同比增長達39.2%，成為全球第一大半導體設備市場；2021年，中國半導體設備市場連續(xù)增長，銷售額為1993.35億元，同比增長達58.1%，連續(xù)兩年成為全球第一大半導體設備市場。2022年中國半導體預計將繼續(xù)增長，規(guī)模達到2745.15億元。

數(shù)據(jù)來源：SEMI、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2.市場結(jié)構(gòu)

從細分產(chǎn)品來看，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備主要核心設備，分別占比24%、20%、20%。其次為測試設備和封裝設備，分別占比9%、6%。

數(shù)據(jù)來源：SEMI、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

3.進口情況

中國半導體設備行業(yè)整體國產(chǎn)化率的提升還處于起步階段，目前國內(nèi)半導體生產(chǎn)廠商所使用的半導體設備仍主要依賴進口。根據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會的統(tǒng)計，2021年半導體設備進口46894臺，合計進口額1147.96億元，同比分別增長84.3%和56.4%。

數(shù)據(jù)來源：中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

4.國產(chǎn)化率情況

中國設備產(chǎn)業(yè)未來10年，第一步將迎接中國半導體產(chǎn)業(yè)對設備投資需求成倍的增長，同時目標將國產(chǎn)化率從平均5%~10%，提升到70%~80%以上甚至更高；第二步中國設備技術(shù)能力與國際廠商同臺競技之后，實現(xiàn)打開國門走向世界。

只有在設備上擁有核心技術(shù)升級與迭代能力，才能真正實現(xiàn)半導體制造上實現(xiàn)超越，國產(chǎn)化率是當務之急，也勢不可擋。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

四、半導體設備行業(yè)重點企業(yè)

1.北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司主要從事半導體基礎產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務。主要產(chǎn)品為電子工藝裝備和電子元器件。北方華創(chuàng)是國內(nèi)設備廠商龍頭企業(yè)，主營氧化擴散設備、刻蝕設備（干法刻蝕）、薄膜沉積工藝CVD和PVD、清洗設備等，幾乎涵蓋了半導體設備全領(lǐng)域。

2022年第一季度北方華創(chuàng)實現(xiàn)營業(yè)收入21.36億元，同比增長50.11%；實現(xiàn)歸母凈利潤2.06億元，同比增長182.19%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2021年北方華創(chuàng)營收主要分為電子工藝裝備、電子元器件，其中電子工藝裝備營收達79.49億元，占比82.1%；電子元器件營收達17.15億元，占比17.7%。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2.芯源微

沈陽芯源微電子設備股份有限公司主要從事半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環(huán)節(jié)）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環(huán)節(jié)）。

2022年第一季度芯源微實現(xiàn)營業(yè)收入1.84億元，同比增長62.83%；實現(xiàn)歸母凈利潤0.32億元，同比增長357.14%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2021年芯源微半導體設備營收達8.13億元，占比達98.1%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究整理

3.中微公司

中微半導體設備(上海)股份有限公司的主營業(yè)務是半導體設備及泛半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司的主要產(chǎn)品有電容性等離子體刻蝕設備，電感性等離子體刻蝕設備，MOCVD設備，VOC設備。中微公司主營刻蝕設備、清洗設備和MOCVD設備，其刻蝕設備以干法刻蝕為主，在CCP刻蝕領(lǐng)域具有較大優(yōu)勢。

2022年第一季度實現(xiàn)營業(yè)收入達9.49億元，同比增長57.38%；實現(xiàn)歸母凈利潤1.17億元，同比下降15.22%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2021年中微公司全年營收均來自半導體設備，其中占比最多的是專用設備，達80.7%。備品備件占17.9%、設備維護占1.4%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

4.華峰測控

北京華峰測控技術(shù)股份有限公司主營業(yè)務為半導體自動化測試系統(tǒng)的研發(fā)，生產(chǎn)和銷售。公司的主要產(chǎn)品為半導體自動化測試系統(tǒng)及測試系統(tǒng)配件，主要功能是檢測晶圓樣品和芯片封裝樣品的功能和性能。

2022年第一季度實現(xiàn)營業(yè)收入2.59億元，同比增長123.28%；實現(xiàn)歸母凈利潤1.22億元，同比增長351.85%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2021年華峰測控半導體設備營收達8.77億元，占整體的99.9%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

5.京運通

北京京運通科技股份有限公司是我國真空晶體生長設備研發(fā)制造于一體的專業(yè)生產(chǎn)廠家。公司主要產(chǎn)品包括單晶硅生長爐、多晶硅鑄錠爐、單晶硅棒、多晶硅錠及單（多）晶硅片、新能源發(fā)電、無毒環(huán)保脫硝催化劑等。

2022年京運通實現(xiàn)營業(yè)收入19.37億元，同比增長76.73%；實現(xiàn)歸母凈利潤0.09億元，同比下降95.85%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

2021年京運通半導體設備營收達0.22億元，同比下降96.4%。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

五、半導體設備行業(yè)發(fā)展前景

1.半導體應用和消費市場需求穩(wěn)定增長

物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、汽車電子等新型應用市場的不斷發(fā)展產(chǎn)生了巨大的半導體產(chǎn)品需求，推動半導體行業(yè)進入新一輪的發(fā)展周期。全球范圍內(nèi)，晶圓廠產(chǎn)能擴充仍在繼續(xù)，下游需求的不斷發(fā)展為半導體設備制造產(chǎn)業(yè)的擴張和升級提供了機遇。

2.半導體產(chǎn)業(yè)重心轉(zhuǎn)移為本土設備廠商提供巨大機遇

憑借巨大的市場容量以及多年的發(fā)展，中國已成為全球最大的半導體消費國和生產(chǎn)國。廣闊的下游市場和不斷完善的上下游產(chǎn)業(yè)鏈帶動全球產(chǎn)能中心逐步向中國大陸轉(zhuǎn)移。半導體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的不斷擴大將為國內(nèi)設備廠商帶來巨大發(fā)展機遇，國產(chǎn)設備將加速導入大陸晶圓廠，因此國產(chǎn)半導體設備將迎來快速發(fā)展期。

3.國家政策大力支持設備國產(chǎn)化提升

集成電路產(chǎn)業(yè)作為國民經(jīng)濟中基礎性、關(guān)鍵性和戰(zhàn)略性的產(chǎn)業(yè)。十四五”規(guī)劃強調(diào)了發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)對強化國家戰(zhàn)略科技力量的意義。半導體設備行業(yè)作為整個半導體產(chǎn)業(yè)的重要支撐，是半導體產(chǎn)業(yè)化過程中的核心環(huán)節(jié)。目前國外龍頭企業(yè)的產(chǎn)品仍占據(jù)全球半導體設備市場的大部分份額，但在部分細分領(lǐng)域本土企業(yè)已實現(xiàn)突破，未來國產(chǎn)化空間巨大。