長江存儲(chǔ)公開“晶圓承載裝置及晶圓檢測(cè)設(shè)備”專利
2022-07-12
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關(guān)鍵詞: 晶圓
天眼查顯示,近日長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司公開多項(xiàng)專利,其中一條名稱為“晶圓承載裝置及晶圓檢測(cè)設(shè)備”,公開號(hào)為CN216926626U。
專利摘要顯示,本申請(qǐng)實(shí)施例公開了一種晶圓承載裝置及晶圓檢測(cè)設(shè)備,所述晶圓具有相背設(shè)置的兩個(gè)待檢測(cè)面,所述晶圓承載裝置包括承載組件和固定組件;承載組件具有鏤空區(qū)域;固定組件設(shè)于所述承載組件上,用于將所述晶圓固定于所述承載組件上;其中,所述晶圓固定于所述承載組件上時(shí),所述晶圓在所述鏤空區(qū)域的正投影至少部分與所述鏤空區(qū)域重疊,本申請(qǐng)中,通過鏤空區(qū)域可使晶圓相背的兩個(gè)待檢測(cè)面同時(shí)外露,簡(jiǎn)化了晶圓的檢測(cè)過程,提高了檢測(cè)效率。

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