中商情報網訊：半導體設備是整個半導體產業(yè)的重要支撐產業(yè)，得益于半導體全行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國家政策的支持，我國半導體設備市場規(guī)模增長迅速。目前，行業(yè)下游晶圓廠在關鍵工藝節(jié)點上成功取得量產，多家國內領先的半導體制造企業(yè)進入產能擴張期，都為國內半導體設備企業(yè)的技術能力提升和產業(yè)規(guī)模的擴大提供了源動力。

一、產業(yè)鏈

半導體設備產業(yè)鏈中，上游為零部件和系統(tǒng)軟件；中游為半導體設備，光刻機、刻蝕機、離子注入機、涂膠顯影設備、氧化爐、CMP/CVD/PVD設備、質檢及電學檢測設備等；下游為半導體產品，主要包括分立器件、光電子器件、傳感器和集成電路。

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

二、上游分析

1.軸承

軸承是半導體設備制造中的一種重要零部件，它的主要功能是支撐機械旋轉體，降低其運動過程中的摩擦系數(shù)，并保證其回轉精度。數(shù)據顯示，2021年我國軸承產量完成233億套，比2020年同期增長32.7%。預計2022年軸承產量將達259億套。

數(shù)據來源：中國軸承工業(yè)協(xié)會、中商產業(yè)研究院整理

2.信息交互系統(tǒng)

半導體設備上游中包括精密運動控制系統(tǒng)、伺服驅動系統(tǒng)和測試分選設備本體；精密運動控制系統(tǒng)作為核心部件，向伺服驅動系統(tǒng)分配運動指令，從而帶動測試分選設備本體運轉，對芯片進行分選。具體如下圖所示：

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

3.伺服系統(tǒng)

（1）伺服系統(tǒng)市場規(guī)模

伺服系統(tǒng)又稱隨動系統(tǒng)，是用來精確地跟隨或復現(xiàn)某個過程的反饋控制系統(tǒng)。伺服系統(tǒng)主要由伺服電機、伺服驅動器、編碼器三部分組成。

根據數(shù)據顯示，我國伺服系統(tǒng)市場規(guī)模由2017年的97億元上升至2021年的224億元。隨著中國人口老齡化的進一步加劇，人口紅利逐漸消退，人力成本逐年上升，傳統(tǒng)工業(yè)尤其是制造業(yè)對自動化產線設備的需求將始終保持增長態(tài)勢。預計到2022年，我國伺服系統(tǒng)市場規(guī)模將達到286億元。

數(shù)據來源：中商產業(yè)研究院整理

（2）伺服系統(tǒng)主要企業(yè)分析

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

三、中游分析

1.半導體設備市場規(guī)模

中國半導體設備的市場規(guī)模增速明顯，從2017年的554.18億元增長至2019年的905.70億元。2020年，中國半導體設備市場亦保持快速增長趨勢，銷售額為1260.62億元，同比增長達39.2%，成為全球第一大半導體設備市場；2021年，中國半導體設備市場連續(xù)增長，銷售額為1993.35億元，同比增長達58.1%，連續(xù)兩年成為全球第一大半導體設備市場。2022年中國半導體預計將繼續(xù)增長，規(guī)模達到2745.15億元。

數(shù)據來源：SEMI、中商產業(yè)研究院整理

2.半導體設備市場占比

從細分產品來看，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備主要核心設備，分別占比24%、20%、20%。其次為測試設備和封裝設備，分別占比9%、6%。

數(shù)據來源：SEMI、中商產業(yè)研究院整理

3.半導體設備國產化率低

中國半導體設備行業(yè)整體國產化率的提升還處于起步階段，目前國內半導體生產廠商所使用的半導體設備仍主要依賴進口。根據中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會的統(tǒng)計，2021年半導體設備進口46894臺，合計進口額1147.96億元，同比分別增長84.3%和56.4%。

數(shù)據來源：中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會、中商產業(yè)研究院整理

4.重點企業(yè)分析

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

5.企業(yè)分布熱力圖

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

四、下游分析

1.半導體市場規(guī)模

我國本土半導體行業(yè)起步較晚。但在政策支持、市場拉動及資本推動等因素合力下，中國半導體行業(yè)不斷發(fā)展。步入21世紀以來，我國半導體產業(yè)市場規(guī)模得到快速增長。數(shù)據顯示，中國半導體市場規(guī)模由2016年的4336億元增長至2020年的8848億元，年均復合增長率達19.5%。中商產業(yè)研究院預測，2022年中國半導體市場規(guī)模將達11008億元。

數(shù)據來源：中國半導體行業(yè)協(xié)會、中商產業(yè)研究院整理

2.集成電路產量

集成電路在消費電子、高端制造、網絡通訊、家用電器、物聯(lián)網等諸多領域得到廣泛應用，已成為衡量一個國家產業(yè)競爭力和綜合國力的重要標志之一。數(shù)據顯示，2021年我國集成電路產量達3594.3億塊，同比增長33.3%。2022年1-5月，我國集成電路產量達1348.75億塊，同比下降6.2%。

數(shù)據來源：中商產業(yè)研究院數(shù)據庫

3.分立器件產量

近年來，物聯(lián)網、可穿戴設備、云計算、大數(shù)據、新能源、醫(yī)療電子、VR/AR、安防電子等新興應用領域成為國內半導體分立器件產業(yè)的持續(xù)增長點。2020年受疫情影響及出口市場的下滑，我國半導體分立器件產量達7317.7億只，同比下降4.3%，預計2022年我國半導體分立器件產量可達8079.2億只。

數(shù)據來源：中國半導體行業(yè)協(xié)會、中商產業(yè)研究院整理

4.光電子器件產量

光電子器件是利用電-光子轉換效應制成的各種功能器件，是信息技術的重要組成部分。數(shù)據顯示，2017-2018年我國光電子器件產量穩(wěn)步增加，2019-2020年產量下降，降幅超10%。2021年由于市場需求增長，我國光電子器件產量恢復快速增長，產量為12314.1億只。最新數(shù)據顯示，2022年1-5月全國光電子器件產量為4589.1億只，同比下降5.9%。

數(shù)據來源：國家統(tǒng)計局、中商產業(yè)研究院整理